Palettes cantilever en céramique SIC

SemicorexPalettes cantilever en céramique SICsont des composants cruciaux pour déplacer les supports de plaquettes dans et hors des fours. Ils sont largement utilisés dans les équipements de traitement thermique tels que les fours d’oxydation, de diffusion et LPCVD (dépôt chimique en phase vapeur à basse pression) dans la fabrication photovoltaïque et de semi-conducteurs.

En raison de l'excellente résistance mécanique, stabilité thermique, résistance aux hautes températures, résistance à l'oxydation, résistance aux chocs thermiques et résistance à la corrosion chimique du carbure de silicium lié par réaction (RBSIC), il convient à la fabrication de palettes en porte-à-faux en carbure de silicium de grande taille.

SemicorexCéramique SICLes palettes en porte-à-faux tirent leur capacité de charge élevée de la résistance mécanique et de la rigidité inhérentes du matériau en carbure de silicium lié par réaction (RBSiC) de haute qualité. Capables de supporter la lourde charge des tranches de silicium, ces palettes optimisent le débit des cycles de diffusion individuels et contribuent à l'amélioration de l'efficacité de la production.

Les propriétés matérielles supérieures du carbure de silicium lié par réaction permettent aux palettes en porte-à-faux en céramique SIC d'avoir une excellente stabilité dans les environnements de fonctionnement à haute température, garantissant la concentricité de la plaquette de silicium et du tube du four, rendant les processus tels que la diffusion et la passivation plus uniformes. Cette stabilité évite efficacement la déformation ou les dommages à la palette en porte-à-faux en carbure de silicium causés par une température élevée et une charge importante, réduisant ainsi le risque d'endommagement de la plaquette de silicium ou de panne de l'équipement.

Les palettes cantilever en céramique Semicorex SiC utilisent le processus d'impression 3D monobloc, qui joue un rôle déterminant dans le maintien de la précision dimensionnelle et de la cohérence de la forme des composants. Cette conception de palettes cantilever en céramique SiC garantit également une compatibilité parfaite avec les systèmes de fours à diffusion. Leur structure en porte-à-faux robuste permet des transferts fluides et sans vibrations, minimisant ainsi les risques de rupture ou de déviation des plaquettes lors du chargement et du déchargement.

La qualité est une priorité absolue pour Semicorex. Toutes les palettes en porte-à-faux en carbure de silicium finies doivent subir de multiples procédures de tests, y compris des contrôles de précision dimensionnelle et des évaluations des propriétés des matériaux, pour garantir leur qualité supérieure. Si vous avez des besoins d'achat, n'hésitez pas à nous contacter.