Les mandrins à vide en céramique Semicorex SiC sont des dispositifs d'adsorption sous vide de précision fabriqués à partir de céramique de carbure de silicium, qui permettent aux plaquettes semi-conductrices d'être positionnées de manière précise et stable dans des positions spécifiques pendant le traitement et l'inspection. L'utilisation de mandrins à vide en céramique Semicorex SiC peut contribuer à améliorer les rendements de fabrication de semi-conducteurs, à améliorer les performances des dispositifs à semi-conducteurs et à réduire les coûts globaux de fabrication.
Des micro-trous conçus avec précision sont uniformément répartis sur la surface des mandrins à vide en céramique SiC, permettant une connexion fiable à l'équipement de vide externe. Pendant le fonctionnement, la pompe à vide est activée pour aspirer l'air à travers les trous, créant ainsi un environnement de pression négative entre la plaquette semi-conductrice et le mandrin à vide. Cela permet donc à la plaquette d'être maintenue uniformément et fermement sur la surface du mandrin à vide.
SemicorexMandrins à vide en céramique SiCsélectionnez soigneusement le carbure de silicium de haute pureté comme matière première. Le contrôle rigoureux de Semicorex sur la pureté des matériaux empêche efficacement la contamination des plaquettes causée par des impuretés pendant le fonctionnement, répondant ainsi aux exigences croissantes en matière de propreté et de rendement de production.
La surface des mandrins à vide en céramique Semicorex SiC subit un polissage miroir et leur planéité est contrôlée entre 0,3 et 0,5 μm. Ce contrôle extrême de la planéité peut permettre un effet de contact optimal, ce qui réduit considérablement le risque de rayures sur les plaquettes causées par des surfaces de contact rugueuses. Chaque micro-trou et chaque rainure des mandrins à vide sont usinés avec précision, offrant ainsi un effet d'adsorption stable et uniforme pendant le fonctionnement.
Semicorex fournit à nos précieux clients des services de personnalisation, offrant différentes options de tailles de mandrins à vide en céramique SiC, telles que 6 pouces, 8 pouces, 12 pouces. Nous pouvons adapter les tolérances dimensionnelles, la taille des pores, la planéité et la rugosité pour répondre aux exigences des clients, garantissant ainsi une adéquation parfaite avec votre équipement de traitement et d'inspection des semi-conducteurs.
SemicorexCéramique SiCles mandrins à vide sont formés par pressage isostatique puis frittés à haute température. Grâce à cette technologie de processus spéciaux, les mandrins à vide en céramique Semicorex SiC possèdent de multiples excellentes performances, telles qu'une légèreté, une rigidité élevée, une forte résistance à l'usure et un faible coefficient de dilatation thermique. Ces propriétés permettent aux mandrins à vide en céramique Semicorex SiC de fonctionner en permanence dans les conditions difficiles de manipulation et de traitement des plaquettes semi-conductrices.