Bateaux à plaquettes en céramique SiC

La sélection de bateaux à plaquettes fiables et durables est cruciale pour garantir la stabilité du processus et le rendement des plaquettes dans des conditions de fonctionnement à haute température et à forte corrosion. SemicorexCéramique SiCLes bateaux à plaquettes sont le choix idéal à cet effet en traitant leurs multiples avantages, notamment une intégration élevée, une stabilité élevée, une résistance aux températures élevées, une résistance à l'usure et une longue durée de vie.

Sélections de matières premières haut de gamme

Le contrôle qualité de Semicorex surBateaux à plaquettes en céramique SiCcommence par leur sélection rigoureuse des matières premières. Les plaquettes en céramique Semicorex SiC sont fabriquées à partir de poudre de carbure de silicium de haute pureté de niveau semi-conducteur par frittage à haute température. Grâce à leur matière première premium, ils offrent les performances exceptionnelles suivantes.

1. Ultra-haute pureté, faible contamination par impuretés métalliques.

2. Structure matérielle dense, réduisant la contamination des plaquettes causée par la perte de particules.

3. Excellente résistance à la corrosion contre le plasma, les acides forts et les alcalis.

4. Haute dureté et résistance mécanique, résistant à l'usure et aux rayures.

5. Stabilité thermique exceptionnelle, aucune déformation ni fluage à 1250°C.

6. Excellente résistance aux chocs thermiques, réduisant le stress thermique dû aux changements rapides de température.

Conception personnalisée et réfléchie

Les bateaux à plaquettes en céramique Semicorex SiC s'adaptent bien à de nombreux équipementiers de fours leaders du secteur, tels que TEL, ASM et Kokusai Electric. Semicorex propose des solutions sur mesure pour nos précieux clients, prenant en charge la personnalisation des dimensions du bateau à plaquettes, du pas des fentes, de la profondeur de la fente, du profil de la fente (en forme de V ou en forme de U) et des angles correspondants pour permettre une compatibilité parfaite avec votre équipement et vos exigences de traitement.

Précision d'usinage de précision

Fort d'un équipement d'usinage avancé et de technologies de traitement matures, Semicorex est en mesure de contrôler strictement les dimensions et les tolérances de ses bateaux à plaquettes en céramique SiC. Ce contrôle dimensionnel de haute précision garantit que les tranches de semi-conducteurs sont fermement positionnées pendant le fonctionnement, ce qui empêche efficacement les dommages aux tranches résultant d'un glissement ou d'une inclinaison. Après un usinage de précision, les fentes uniformément espacées des bateaux à tranches en céramique SiC peuvent garantir que chaque tranche est chauffée et réagit uniformément pendant les processus d'oxydation, de diffusion et de CVD, ce qui contribue grandement à améliorer la cohérence du processus et le rendement des puces semi-conductrices.