Disques de dérivation de gaz à revêtement SiC

Se présentant comme le bel exemple de matériaux avancés de qualité semi-conducteur et de technologies de fabrication de pointe, SemicorexRevêtement SiCLes disques de dérivation de gaz sont fabriqués avec précision à partir de graphite de haute pureté et leurs matrices avec un revêtement SiC dense par dépôt chimique en phase vapeur. Les disques de dérivation de gaz sont principalement conçus pour répartir le gaz de réaction uniformément sur la surface de la plaquette afin de garantir des réactions complètes pendant le traitement, facilitant ainsi la formation de films minces monocristallins cohérents et uniformes.

Les avantages des disques de dérivation de gaz Semicorex revêtus de SiC

1. Haute pureté matérielle

Semicorex respecte des normes strictes de qualité des produits, en commençant par une sélection minutieuse des matériaux. Grâce à ce contrôle strict de la pureté des matières premières, les disques de dérivation de gaz Semicorex revêtus de SiC offrent une faible teneur en impuretés et offrent une propreté exceptionnelle. Cela peut empêcher considérablement les ions métalliques et autres contaminants de compromettre les processus épitaxiaux des semi-conducteurs.

2. Stabilité thermique supérieure

Les composants utilisés dans ces systèmes doivent avoir une stabilité thermique exceptionnelle car les équipements épitaxiaux à semi-conducteurs fonctionnent généralement à des températures supérieures à 1 400 °C. Cette stabilité thermique exceptionnelle peut garantir que les disques de dérivation de gaz à revêtement Semicorex SiC résistent aux conditions de fonctionnement difficiles à haute température et peuvent empêcher efficacement la libération d'impuretés causée par une température élevée pendant le fonctionnement, ce qui contribue à garantir la qualité et le rendement des tranches épitaxiales.

3. Résistance remarquable à la corrosion à haute température

Les matrices de graphite non protégées sont sujettes à la corrosion et à la génération de particules. C'est pourquoi les disques de dérivation de gaz sont généralement traités avec un revêtement en carbure de silicium pour améliorer leur résistance à la corrosion. Recouverts d'un revêtement SiC dense, les disques de dérivation de gaz Semicorex recouverts de SiC offrent une excellente résistance à l'oxydation et à la corrosion chimique, ce qui leur permet de fonctionner de manière stable pendant une longue durée de vie, même dans des conditions de fonctionnement difficiles, à haute température et corrosives.

4. Capacités de personnalisation flexibles

Semicorex est équipé de plusieurs équipements de traitement avancés, tels que des équipements d'usinage CNC, des rectifieuses de surfaces et des équipements de forage à ultrasons, offrant des capacités de traitement expérimentées. Semicorex est en mesure d'offrir des services de personnalisation flexibles selon les dessins des clients et d'adapter les dimensions, les tolérances, la planéité des surfaces, les diamètres des trous et les espacements des trous des disques de dérivation de gaz recouverts de SiC pour garantir une compatibilité transparente avec l'équipement épitaxial des clients.