Suscepteurs à base de graphite à revêtement SiC pour MOCVD

Nos suscepteurs à base de graphite à revêtement SiC pour MOCVD ont une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion qui garantit une grande stabilité même dans des environnements extrêmes.
Les caractéristiques de ces suscepteurs à base de graphite à revêtement SiC pour MOCVD sont exceptionnelles. Il est fabriqué avec un revêtement de carbure de silicium de haute pureté sur graphite, ce qui le rend très résistant à l'oxydation à des températures élevées allant jusqu'à 1 600 °C. Le procédé de dépôt chimique en phase vapeur CVD utilisé dans sa fabrication garantit une grande pureté et une excellente résistance à la corrosion. La surface du support est dense, avec de fines particules qui améliorent sa résistance à la corrosion, le rendant résistant aux réactifs acides, alcalins, salins et organiques.
Nos suscepteurs à base de graphite à revêtement SiC pour MOCVD assurent un profil thermique uniforme, garantissant le meilleur modèle de flux de gaz laminaire. Il empêche toute contamination ou impureté de se diffuser dans la plaquette, ce qui la rend idéale pour une utilisation dans les environnements de salle blanche. Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteurs en graphite à revêtement SiC en Chine, et nos produits présentent un bon avantage en termes de prix. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme dans l'industrie des semi-conducteurs.

Paramètres des suscepteurs à base de graphite revêtus de SiC pour MOCVD

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire
- Garantir la régularité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés