Suscepteurs planétaires recouverts de SiC

Les suscepteurs planétaires Semicorex recouverts de SiC sont des composants de support indispensables conçus pour la croissance épitaxiale des semi-conducteurs dans les équipements Aixtron G2, dans lesquels ils sont capables de supporter en toute sécurité les tranches et de tourner selon un mouvement planétaire. De cette manière, une uniformité thermique précise et une répartition uniforme du gaz sur la surface de la tranche peuvent être obtenues avec succès, ce qui aboutit à un dépôt de couche épitaxiale de première qualité sur les tranches.

Avantages des suscepteurs planétaires Semicorex revêtus de SiC

1. Conception de poche multi-plaquettes

Semicorex avec revêtement SiCsuscepteurs planétairesprésentent une répartition uniforme de plusieurs poches de plaquettes aux dimensions précisément contrôlées. Ces poches de tranche sont capables de maintenir fermement les substrats de tranche pendant le processus de croissance épitaxiale, ce qui peut minimiser efficacement les variations du processus épitaxial provoquées par le mouvement indésirable des substrats de tranche. De plus, cette conception de poches multi-tranches permet à plusieurs substrats de tranches de subir un dépôt épitaxial simultanément au cours d'un seul processus, améliorant ainsi considérablement l'efficacité globale du processus de croissance épitaxiale.

2. Disposition optimisée des trous de flux de gaz

Semicorex intègre un ensemble soigneusement conçu de canaux d'écoulement de gaz dans sonRevêtement SiCdes suscepteurs planétaires, qui affine l'optimisation de la dynamique du flux de gaz et de l'uniformité thermique sur la surface de la tranche tout au long du processus d'épitaxie. Cette conception réfléchie permet un contrôle précis du débit et de la distribution du gaz à l’intérieur de la chambre de réaction, ce qui est essentiel pour obtenir des films minces de haute qualité, une épaisseur de couche uniforme et des performances globales fiables du dispositif.

3. Ultra-haute propreté

Les suscepteurs planétaires Semicorex à revêtement SiC sont fabriqués avec des matériaux de très haute pureté et des niveaux d'impuretés extrêmement faibles, répondant pleinement aux exigences strictes de propreté de la fabrication de semi-conducteurs. Ils minimisent efficacement la contamination des tranches causée par le dégazage métallique, même dans les conditions de température élevée et corrosives typiques des processus épitaxiaux.

4. Durée de vie longue durée

Le contrôle qualité de Semicorex commence par notre sélection rigoureuse des matières premières. Les suscepteurs planétaires à revêtement SiC sont fabriqués avec précision à partir de graphite de qualité semi-conducteur et de carbure de silicium, offrant une excellente résistance aux hautes températures et à la corrosion, ce qui les rend parfaitement résistants aux conditions difficiles de fonctionnement épitaxial à haute température et hautement corrosives. Grâce à ces excellentes propriétés matérielles, les suscepteurs planétaires à revêtement SiC Semicorex peuvent maintenir leurs performances constantes et leur intégrité structurelle et éviter leurs dommages de surface et leur baisse de performances dans les chambres de réaction à haute température et à forte corrosion, prolongeant ainsi considérablement la durée de vie des suscepteurs planétaires à revêtement SiC.