Tubes de four horizontal SIC

Tubes de four horizontaux SICsont les supports indispensables du système de four, généralement situés dans la zone de chauffage du cœur des équipements de fabrication de semi-conducteurs ou de production photovoltaïque. Ils travaillent avec les éléments chauffants, les systèmes de contrôle de la température, les systèmes de contrôle du gaz et les bateaux à plaquettes pour former le système de four complet.

En fonctionnement réel, les tubes de four horizontaux SIC sont chauffés par les éléments chauffants, qui transfèrent uniformément la chaleur dans les tubes de four grâce à l'excellente conductivité thermique des matériaux en carbure de silicium. Pendant ce temps, des gaz de procédé spécifiques (tels que l'oxygène, l'azote, les gaz dopants, etc.) sont introduits dans le tube du four. Sous l’effet de cette atmosphère gazeuse à haute température, les matériaux semi-conducteurs à l’intérieur du four subiront des réactions chimiques ou des changements physiques, aboutissant finalement à une modification du matériau, un dopage ou une optimisation structurelle.

Les tubes de four horizontal SIC de Semicorex offrent une résistance mécanique et une dureté remarquables, qui jouent un rôle important dans les applications impliquant la manipulation et le traitement de gros volumes de plaquettes. Les tubes de four horizontal SIC sont capables de fournir un support stable aux tranches dans les processus de traitement thermique tels que l'oxydation, la diffusion et le recuit, garantissant que les tranches sont dans la bonne position pendant le traitement à haute température et évitant le déplacement ou la déformation provoqués par les contraintes thermiques.

Les tubes de four horizontal SIC de Semicorex sont fabriqués à partir de matériaux de haute puretécéramiques de carbure de siliciumà très faible teneur en impuretés, suivi du dépôt d'un CVDrevêtement en carbure de siliciumà leur surface. Cette méthode de fabrication ajoute une couche protectrice aux tubes de four horizontal SIC, ce qui leur permet de fonctionner de manière stable dans les environnements exigeants à haute température et corrosifs au fil du temps. Ces performances de résistance à la corrosion des tubes de four horizontal SIC améliorent l'efficacité de la fabrication de plaquettes semi-conductrices en réduisant efficacement le risque de dommages aux composants liés à la corrosion et en réduisant le besoin de remplacements et de maintenance fréquents.

Avec autant de propriétés supérieures, les tubes de four horizontal SIC de Semicorex sont largement utilisés dans de nombreux processus de traitement à haute température dans les industries photovoltaïques et des semi-conducteurs tels que le processus d'oxydation, le processus de diffusion, le processus de recuit et le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression.