Tube d'oxydation SIC

Le tube d'oxydation SIC semicoréx est construit à partir de céramique en carbure de silicium de haute pureté conçu pour les processus d'oxydation, de diffusion ou de recuit généralement effectués à 1600 ° C. Dans le cadre d'une fournaise SIC, horizontale ou verticale, c'est l'environnement contrôlé dans lequel les plaquettes sont chauffées tout en s'oxydant. La fonction du tube d'oxydation est de fournir un environnement propre, uniforme et stable pour le traitement thermique des plaquettes de carbure de silicium (SIC) dans la fabrication de dispositifs d'alimentation et de semi-conducteurs de bande interdite larges, comme une ouverture du processus d'oxydation potentiel constant, le tube d'oxydation agit comme une cible consommable pour une utilisation en première utilisation. Alors que les tubes en quartz et en alumine se trouvent souvent en panne au fil du temps par la dévitrification, la déformation ou la dégradation chimique, le carbure de silicium a une durabilité exceptionnelle contre les défis des chocs thermiques, l'amélioration des propriétés mécaniques et l'inertie chimique. Ces facteurs donnent du carbure de silicium comme une excellente option pour les tubes d'oxydation dans des environnements à haut débit à haut débit.

En utilisant des formes avancées de formation telles que la pressage isostatique à froid et le frittage sans pression (ou recristallisation), semicoréx produit des tubes d'oxydation SIC qui ont une microstructure dense, étanche et homogène. Cela offre une force sans risque de porosité, permettant au processus d'oxydation de se dérouler sans contamination. Le SIC a une conductivité thermique très élevée, permettant une distribution thermique uniforme à la zone de charge de la plaque et réduisant ainsi les gradients thermiques qui peuvent provoquer des plaquettes ou des défauts déformés. La résistance du tube aux acides, aux bases et aux gaz réactifs empêche également les interactions chimiques indésirables avec la surface de la plaquette et à travers l'environnement de la fournaise.

Il ne se glisse pas, il ne se déforme pas. Le tube n'a pas besoin d'être remplacé après plusieurs cycles de production - ce sont des environnements de cyclisme thermique à long terme qui autrement détruiraient des matériaux moindres. Par conséquent, aucune interruption à haute fréquence ne signifie que de faibles coûts d'exploitation, ce qui maintient le flux de processus sans aucune perturbation. Cela réduit également les risques de contamination qui peuvent facilement réduire les performances de rendement dans les dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération où les impuretés traces jouent un rôle essentiel. Semicorex produit des dimensions de tube standard et entièrement personnalisées pour toute plate-forme et recette de fournaise utilisée. Le diamètre intérieur et extérieur, la longueur, l'épaisseur de la paroi et la finition de surface sont tous des paramètres qui peuvent nécessiter un ajustement pour répondre à différents besoins thermiques et mécaniques spécifiques; Des fours de R&D à l'échelle de laboratoire jusqu'à de grandes lignes de fabrication - dans chaque cas où le tube a besoin d'usinage, de nettoyage et d'inspection pour garantir les performances.

Le contrôle de la qualité commence par des contrôles dimensionnels, des tests de densité de matériaux et une validation de fiabilité du cycle thermique pour chaque tube d'oxydation SIC. Un système de traçabilité de matériau solide enregistre le produit de sa étape de poudre brute à l'inspection finale. Ce type de qualité donne aux clients une main régulière dans la stabilité et la reproductibilité à long terme de nos tubes d'oxydation SIC.

Choisissez Semicorex et obtenez un partenaire dans un fournisseur qui combine l'ingénierie en céramique avancée avec un large contrôle des processus et un support technique réactif en travaillant ensemble dès le début. Nous découvrons votre environnement de fournaise spécifique, vos exigences de processus et vos défis d'intégration afin que nous puissions vous offrir des solutions personnalisées améliorant les résultats de votre processus ainsi que la disponibilité de l'outil.

Le tube d'oxydation SIC semicorex offre les meilleures performances thermiques possibles avec stabilité chimique et résistance mécanique. Il devient le cœur de tout système de traitement SIC à haute température en fournissant un environnement thermique uniforme pendant l'oxydation et le recuit des matériaux avancés semi-conducteurs. Pour les fabricants qui ont besoin que les composants de la fournaise soient fiables, propres et durables, Semicorex sera un choix de produit soutenu par les connaissances et l'expérience ainsi qu'une norme de livraison de moins du meilleur.