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Mandrins de décollement en céramique poreuse SIC

Mandrins de décollement en céramique poreuse SIC

Les mandrins de décollage en céramique poreuse Semicorex SiC sont les composants essentiels spécialement conçus pour l'adsorption et la fixation de tranches ultra-minces amincies dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Semicorex s'engage à offrir à nos clients distingués des mandrins en céramique poreuse SiC usinés avec précision avec une qualité de pointe sur le marché.

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Description du produit

Avec les progrès du traitement des semi-conducteurs et la demande croissante de composants électroniques, l’application de plaquettes ultrafines est devenue de plus en plus critique. Généralement, les tranches d’une épaisseur inférieure à 100 µm sont appelées tranches ultra-minces. Cependant, lorsque les tranches sont amincies en dessous de 100 µm, elles présentent une fragilité importante et leur résistance mécanique diminue par la suite, ce qui entraîne des risques élevés de déformation, de flexion ou même de rupture des tranches. Pour cette raison, choisir d'utiliser des mandrins de décollage en céramique poreuse Semicorex SiC est la sage décision, car ils peuvent fournir un support et une protection fiables des plaquettes ultra-minces pour obtenir une séparation sûre dans le processus de décollage.


SiC porous ceramic debonding chucks

Les avantages des mandrins de décollage en céramique poreuse Semicorex SiC


1. Propriétés matérielles exceptionnelles

Doté d'une dureté Mohs d'environ 9,5, SemicorexMandrins de décollage en céramique poreuse SiCoffrent une résistance à l'usure exceptionnelle et peuvent résister à long terme à des opérations répétées d'adsorption et de libération sous vide avec une durabilité fiable pendant le processus de décollage.

De plus, grâce à leur conductivité thermique supérieure, les mandrins de décollage en céramique poreuse SiC Semicorex sont parfaitement adaptés à la conduction rapide de la chaleur, ce qui peut empêcher efficacement une surchauffe locale susceptible de dégrader ou d'endommager les plaquettes, particulièrement adaptés au processus de décollage à haute température.


2. structure céramique poreuse haute performance

Fabriqué à partir de haute qualitécarbure de siliciumpoudre par frittage à haute température, les mandrins de décollage en céramique poreuse Semicorex SiC présentent de nombreux micropores interconnectés uniformément répartis à l'intérieur. Avec une porosité de 30 (± 5) % et une taille de pores contrôlée avec précision entre 2 et 25 μm, les mandrins de décollage en céramique poreuse Semicorex SiC peuvent garantir que les tranches ultra fines sont uniformément sollicitées pendant le processus de décollage, réduisant ainsi considérablement les risques de déformation et de rupture des tranches.


3. Contrôle précis de la planéité

Bénéficiant de technologies d'usinage et de traitement de surface éprouvées, les mandrins de décollage en céramique poreuse SiC Semicorex atteignent un parallélisme contrôlé en dessous de 0,02 mm et une planéité double face inférieure à 0,02 mm. Cette excellente planéité et ce parallélisme fournissent une plate-forme de support stable et plate pour le processus de décollage des tranches ultra-minces, garantissant ainsi la précision et la fiabilité du processus de décollage.


4. Options de dimensions flexibles

Les mandrins de décollage en céramique poreuse Semicorex SiC sont bien adaptés au traitement des plaquettes de 6 pouces et 8 pouces et sont disponibles dans diverses dimensions standard, notamment 159 mm de diamètre × 0,75 mm d'épaisseur, 200 mm de diamètre × 1 mm d'épaisseur, 204 mm de diamètre × 1,5 mm d'épaisseur.


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