Tube de traitement SiC

Le tube de traitement Semicorex SiC (carbure de silicium) est un composant spécialisé utilisé dans les processus de traitement thermique des plaquettes, en particulier dans les applications qui nécessitent des températures élevées, des atmosphères corrosives, ou les deux. Il est conçu pour fournir un environnement protecteur et contrôlé aux plaquettes semi-conductrices pendant le traitement thermique ou le traitement thermique.

Le tube de traitement est soigneusement conçu pour créer une chambre scellée dans laquelle les plaquettes sont placées pour le traitement thermique. Il agit comme une barrière empêchant le contact direct des plaquettes avec le milieu environnant. Cette isolation est cruciale pour maintenir la pureté de l’atmosphère de traitement et protéger les tranches de la contamination.

À l’intérieur du tube de traitement SiC, le traitement thermique de la plaquette a lieu. Cela peut inclure divers processus tels que le recuit, l'oxydation, la diffusion et d'autres traitements thermiques nécessaires pour modifier les propriétés du matériau de la plaquette. Les propriétés du tube, telles que sa conductivité thermique élevée et sa résistance aux attaques chimiques, contribuent à garantir une répartition uniforme de la température et une protection des plaquettes.

Les tubes de traitement SiC sont des composants essentiels dans les processus de traitement thermique des plaquettes. Leur résistance aux températures élevées, leur inertie chimique et leur capacité à créer un environnement contrôlé garantissent la réussite des étapes de traitement thermique, conduisant à la production de tranches semi-conductrices de haute qualité.