Tube de traitement SiC

Le tube de traitement Semicorex SiC (carbure de silicium) est un composant spécialisé utilisé dans les processus de traitement thermique des plaquettes, en particulier dans les applications nécessitant des températures élevées, des atmosphères corrosives ou les deux. Il est conçu pour fournir un environnement protecteur et contrôlé aux plaquettes semi-conductrices pendant le traitement thermique ou le traitement thermique.

Le tube de traitement est soigneusement conçu pour créer une chambre scellée où les tranches sont placées pour le traitement thermique. Il agit comme une barrière, empêchant le contact direct des wafers avec le milieu environnant. Cet isolement est crucial pour maintenir la pureté de l'atmosphère de traitement et protéger les tranches de la contamination.

À l'intérieur du tube de traitement SiC, le traitement thermique de la plaquette a lieu. Cela peut inclure divers processus tels que le recuit, l'oxydation, la diffusion et d'autres traitements thermiques nécessaires pour modifier les propriétés du matériau de la plaquette. Les propriétés du tube, telles que sa conductivité thermique élevée et sa résistance aux attaques chimiques, contribuent à assurer une répartition uniforme de la température et la protection des tranches.

Les tubes de traitement SiC sont des composants critiques dans les processus de traitement thermique des tranches. Leur résistance aux hautes températures, leur inertie chimique et leur capacité à créer un environnement contrôlé garantissent la bonne exécution des étapes de traitement thermique, conduisant à la production de plaquettes semi-conductrices de haute qualité.