Tubes SIC

Les tubes SIC semi-oraises (tubes de fournaise sic) sont des composants premium fortement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de leur stabilité thermique idéale, de leur résistance mécanique et de leur résistance extrême aux produits chimiques agressifs sur une gamme d'applications. Les tubes SIC semicoréxes ont été conçus pour survivre aux conditions les plus sévères associées au traitement à haute température. Les tubes SIC sont clairement un matériau préféré et supérieur pour les fours de diffusion, les systèmes LPCVD / PECVD et dans les environnements utilisés pour la croissance épitaxiale dans laquelle la contamination des matériaux et le différentiel thermique sont des considérations clés.

Les tubes SIC semi-orecorex sont fabriqués à partir de poudres SIC à ultra-pureté en utilisant des méthodologies de frittage avancées et des techniques de contrôle des processus qui préservent la pureté du sic. Le résultat est que les tubes SIC ont une conductivité thermique optimale, de faibles caractéristiques de dilatation thermique et ont un poids réparti sur la longueur du tube, minimisant efficacement la contrainte thermique, même lorsqu'elle est exposée à un cycle thermique rapide. Ainsi, l'utilisation de tubes SIC offre une respect élevée pendant les processus continus à haute température (jusqu'à 1600 ° C) - assurant ainsi l'uniformité dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, améliorant l'efficacité globale à des échelles cohérentes.

Le principal avantage du SIC est qu'il est chimiquement inerte. Le sic est pratiquement non poreux (conforme à la classement ASTM-G654 GP-4) et inégalé en ce qui concerne les gaz corrosifs résistance et les produits chimiques réactifs utilisés dans le développement semi-conducteur, notamment HCL, NH₃, SIH₄, etc. Stabilité dimensionnelle et augmentation du temps de service tout en minimisant les ralentissements de débit liés aux changements de tube et aux remplacements. Les principaux avantages de la fabrication de semi-conducteurs sont clairs; L'utilisation de tubes SIC peut réduire le coût total de la plage de propriété de la plage de semaines ou même de mois tout en maintenant la fiabilité en ce qui concerne les processus industriels.

Les tubes SIC semicoréxes sont disponibles en plusieurs diamètres, longueurs et spécifications personnalisées pour répondre à différentes conceptions de fournaises et exigences de traitement. Les surfaces intérieures peuvent être polies, ce qui améliore la propreté, réduit la génération de particules et est un détail important dans les espaces de semi-conducteurs ultra-nettoyés. L'utilisation de tubes SIC semi-orecorex peut aider à réduire le risque de contamination et contribue à une augmentation des rendements de plaquettes avec des tolérances étroites et une qualité de surface améliorée.

L'expertise SIC semi-orée comprend des années de traitement des carbures de silicium en mettant l'accent sur l'ingénierie précise et le contrôle de la qualité pour répondre aux normes de qualité rigoureuses et exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Nos tubes sont testés et validés avec des inspections, qui sont essentielles pour garantir la pureté, la densité et les performances dans les environnements thermiques les plus extrêmes. Semicorex fournit également des options de support technique et de conception personnalisées pour aider à optimiser le système de fournaise pour des applications spécifiques.

Qu'il s'agisse de puces logiques, de dispositifs d'alimentation ou d'optoélectronique, les tubes SIC semicoréxes présentent une option fiable et durable pour un traitement à haute température. En sélectionnant Semicorex, vous assurez non seulement l'efficacité mais un processus stable et efficace à plus long terme pour la fabrication de semi-conducteurs.