Bateau à plaquettes SiC

Semicorex fournit des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de film de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre SiC Wafer Boat a un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Présentation de notre SiC Wafer Boat de haute qualité, conçu pour fournir une solution fiable pour le traitement des plaquettes dans diverses industries. Ces socles en céramique sont fabriqués à partir de céramiques de haute pureté, qui offrent une excellente résistance aux chocs thermiques, à l'abrasion et à la corrosion chimique, ce qui les rend idéaux pour les environnements de traitement de plaquettes difficiles.
Nos bateaux SiC Wafer sont également hautement personnalisables, et nous pouvons travailler avec vous pour créer des piédestaux personnalisés pour répondre à vos spécifications uniques. Nous sommes fiers de notre capacité à fournir des produits fiables et de haute qualité qui répondent aux exigences de nos clients. Nos bateaux à gaufrettes en céramique sont conçus pour durer et offrent une longue durée de vie, vous assurant ainsi de tirer le meilleur parti de votre investissement.
Commandez maintenant et découvrez les avantages de notre SiC Wafer Boat de haute qualité dans vos opérations de traitement de plaquettes.

Paramètres du SiC Wafer Boat

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Knoop	2700	2800	/
Ténacité de rupture	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale dans l'air	℃	1200	1500	1600
Module d'élasticité	Gpa	360	410	240

Caractéristiques du SiC Wafer Boat

- Revêtements en carbure de silicium CVD pour améliorer la durée de vie.
- Isolation thermique en carbone rigide purifié haute performance.
- Avoir une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.
- Céramique haute pureté et revêtement SiC pour une résistance aux trous d'épingle et une durée de vie plus longue