Bateau à plaquettes SiC

Semicorex propose des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de films de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre SiC Wafer Boat présente un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Présentation de notre SiC Wafer Boat de haute qualité, conçu pour fournir une solution fiable pour le traitement des plaquettes dans diverses industries. Ces socles en céramique sont fabriqués à partir de céramiques de haute pureté, qui offrent une excellente résistance aux chocs thermiques, à l'abrasion et à la corrosion chimique, ce qui les rend idéaux pour les environnements difficiles de traitement des plaquettes.
Nos bateaux SiC Wafer sont également hautement personnalisables et nous pouvons travailler avec vous pour créer des socles personnalisés répondant à vos spécifications uniques. Nous sommes fiers de notre capacité à fournir des produits fiables et de haute qualité qui répondent aux demandes de nos clients. Nos bateaux à plaquettes en céramique sont conçus pour durer et offrent une longue durée de vie, vous garantissant ainsi de tirer le meilleur parti de votre investissement.
Commandez maintenant et découvrez les avantages de notre SiC Wafer Boat de haute qualité dans vos opérations de traitement de plaquettes.

Paramètres du bateau à plaquettes SiC

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSIC	SSIC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Bouton	2700	2800	/
Briser la ténacité	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale de l'air	℃	1200	1500	1600
Module élastique	Gpa	360	410	240

Caractéristiques du bateau à plaquettes SiC

-Revêtements CVD en carbure de silicium pour améliorer la durée de vie.
- Isolation thermique en carbone rigide purifié haute performance.
- Avoir une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.
- Revêtement céramique et SiC de haute pureté pour une résistance aux sténopés et une durée de vie plus longue