Cassette de plaquettes SiC

La cassette de plaquettes Semicorex SiC, également connue sous le nom de bateau à plaquettes carrelées, a été développée spécifiquement pour les opérations d'oxydation, de diffusion et de recuit à des températures supérieures à 1 200 °C. Les cassettes fournissent un support mécanique important, ainsi qu'un alignement simultané de plusieurs tranches lors d'une utilisation dans un four à haute température, et présentent une grande stabilité mécanique et dimensionnelle pendant et après une contrainte thermique.  La demande de matériaux ultra-purs et thermiquement stables pour les systèmes de manipulation de plaquettes augmente à mesure que la taille des dispositifs semi-conducteurs diminue et que leurs performances augmentent.

La cassette est fabriquée à partir de haute puretécarbure de silicium, il existe également des revêtements qui peuvent être appliqués pour des avantages encore plus importants. Le SiC présente une excellente stabilité aux chocs thermiques, à la corrosion et à la déformation dimensionnelle.  Le SiC possède une dureté, une inertie chimique et une conductivité thermique uniques, ce qui en fait un matériau idéal pour cet environnement de processus. Le SiC, par rapport aux alternatives au quartz et à l'alumine, ne diminuera pas ses propriétés mécaniques et chimiques à des températures de traitement élevées, réduisant ainsi le risque de contamination et améliorant l'uniformité du processus de fabrication des plaquettes.

L'ultra-haute pureté de la cassette de tranches SiC présente une résistance aux contaminants métalliques ou ioniques pénétrant dans la chambre de traitement ; quelque chose qui est absolument nécessaire pour une grande pureté afin de répondre aux exigences des processus avancés de fabrication de semi-conducteurs. En minimisant les sources de contaminants, les cassettes en carbure de silicium augmenteront le rendement des tranches et la fiabilité des dispositifs.

La technologie d'usinage de précision de Semicorex permet de produire chaque cassette avec des tolérances serrées, un pas de fente uniforme et un alignement parallèle. L'usinage de précision des matériaux permet un chargement et un déchargement fluides des tranches, ce qui réduit le risque de rayures lors de la manipulation des tranches. L'espacement précis des fentes permet une température et un flux d'air uniformes sur toutes les tranches, ce qui favorise l'uniformité de l'oxydation et de la diffusion tout en réduisant la variabilité du processus.

Le SiC présente une excellente conductivité thermique, une stabilité dimensionnelle et offre des performances fiables sous des cycles thermiques répétés. Le matériau est stable et ne se déforme pas et ne se fissure pas ; sa rigidité élevée maintient l'intégrité structurelle à haute température sur de longues périodes, réduisant considérablement les contraintes mécaniques sur les tranches tout en limitant la probabilité de particules indésirables générées lors de la manipulation en raison du frottement ou des micro-vibrations.

En outre,SiCL'inertie de face aux produits chimiques protège les plaquettes de la réaction aux gaz de traitement (par exemple l'oxygène, l'hydrogène, l'ammoniac) généralement impliqués lors du traitement. Les cassettes de plaquettes sont stables dans les atmosphères oxydantes et non oxydantes et peuvent être intégrées au flux de travail du four dans un certain nombre de processus tels que l'oxydation, la diffusion, le LPCVD et le recuit.

Pour répondre aux exigences spécifiques des processus, Semicorex propose des cassettes de plaquettes SiC personnalisées dans différentes tailles, nombres d'emplacements et configurations. Chaque unité est soumise à une inspection de qualité et à un traitement de surface rigoureux pour garantir la douceur, la propreté et la précision dimensionnelle. Le polissage de surface en option réduit encore la génération de particules et améliore la compatibilité avec les systèmes automatisés de manipulation de plaquettes.