Support de plaquette SiC

Le support de plaquette Semicorex SiC est fabriqué en carbure de silicium de haute pureté, qui présente une excellente stabilité thermique, résistance mécanique et résistance chimique. Ces matériaux sont choisis pour minimiser la contamination, éviter d'endommager les plaquettes et résister aux conditions exigeantes du traitement des semi-conducteurs.

Lors des processus thermiques, tels que le recuit ou la diffusion, le support de plaquette SiC joue un rôle crucial dans le maintien d'une répartition uniforme de la température sur la surface de la plaquette. Sa conductivité thermique élevée permet un transfert de chaleur efficace, minimisant les gradients thermiques et garantissant des résultats de processus cohérents.

Les supports de plaquettes SiC sont souvent conçus pour s'adapter à des tailles de plaquettes spécifiques, allant de quelques pouces à des diamètres plus grands, selon l'application. Ils peuvent comporter plusieurs supports disposés dans une cassette ou un support pour faciliter le traitement par lots et augmenter le débit.

Le support de tranche Semicorex SiC est un outil essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, fournissant une plate-forme sécurisée et stable pour les tranches de carbure de silicium tout au long des différentes étapes de traitement. Sa conception et la composition de ses matériaux garantissent l'intégrité de la tranche, facilitent une répartition uniforme de la température et permettent une manipulation et un traitement efficaces des tranches.