Bateaux en carbure de silicium

Les bateaux en carbure de silicium semicoréx présentent une stabilité thermique exceptionnelle, leur permettant de résister aux températures extrêmes nécessaires aux processus d'oxydation et de diffusion. Leur excellente résistance aux chocs thermiques minimise le risque de fissuration ou de déformation, assurant une longévité opérationnelle prolongée. La composition SIC à haute densité fournit une résistance mécanique supérieure, en maintenant l'intégrité structurelle même en cyclisme thermique continu. Cette résistance exceptionnelle au stress mécanique réduit la probabilité de contamination et de rupture de la plaquette, contribuant à des rendements de processus plus élevés. En outre, les bateaux SIC possèdent une résistance chimique exceptionnelle, restant inerte aux gaz de processus agressifs utilisés dans les étapes d'oxydation et de diffusion. Cette caractéristique empêche les réactions indésirables qui pourraient compromettre la pureté de la tranche et l'efficacité de production.

Les bateaux en carbure de silicium sont principalement utilisés dans les fours d'oxydation et de diffusion, où un contrôle précis de l'exposition à la tranche à des températures élevées et à des gaz réactifs est essentiel. Ils prennent en charge les WAFER pendant l'oxydation thermique pour cultiver des couches de dioxyde de silicium de haute qualité et faciliter le dopage uniforme par une exposition contrôlée aux gaz dopants. De plus, ils fournissent une plate-forme stable pour le recuit et d'autres traitements à haute température qui nécessitent une exposition à la chaleur prolongée.

Par rapport aux bateaux traditionnels en quartz et en graphite, les bateaux en carbure de silicium offrent une durabilité, une longévité et des performances inégalées. Leur capacité à résister à des environnements thermiques et chimiques sévères tout en minimisant la contamination en fait le choix préféré pour la fabrication de semi-conducteurs de haute précision. En mettant l'accent sur la qualité et l'innovation, nos bateaux en carbure de silicium offrent des performances supérieures, garantissant des rendements élevés et un traitement efficace des plaquettes pour les fabricants de semi-conducteurs dans le monde. Que ce soit pour les technologies de nœuds avancées ou la fabrication de semi-conducteurs hérités, ces bateaux fournissent une solution fiable pour répondre aux exigences strictes de l'industrie.

(1) Transport et protection: les bateaux en carbure de silicium transportent des matériaux semi-conducteurs tels que des plaquettes à travers ses supports ou emplacements internes, et utilise la résistance à haute température et à la corrosion des matériaux en carbure de silicium pour protéger les plaquettes de l'environnement externe.

(2) Chauffage uniforme: le bateau en carbure de silicium permet aux plaquettes à l'intérieur d'être chauffées uniformément pendant le processus de traitement thermique. Cela permet de garantir que la température et la vitesse de réaction de chaque partie de la tranche restent cohérentes pendant le processus de traitement thermique, améliorant ainsi le rendement et la qualité de la tranche.

Il existe actuellement trois principaux types deCéramique en carbure de siliciumMatériaux: frittage de réaction, frittage sans pression et frittage de recristallisation. Dans la plupart des applications, la réaction en carbure de silicium fritté est un produit plus approprié et rentable. Les bateaux de sic recristallisés sont généralement un frittage et traitent d'abord plusieurs pièces unitaires, puis utilisent la pâte de Si pour combiner les pièces en bateau à haute température, et enfin appliquer un revêtement CVD-SIC (environ 100UM). Étant donné que la recristallisation est poreuse, s'il n'y a pas de revêtement SIC, il introduira également les partisans dans le processus de semi-conducteur. Ce type de bateau SIC recristallisé avec revêtement CVD-SIC a le processus de fabrication le plus long et est très cher. Par rapport aux bateaux en graphite enduits de SIC, les bateaux sic remisstallisés par CVD-SIC n'ont pas de problème de décalage CTE.