Bague en carbure de silicium

Parfaits pour les applications de lithographie et de manipulation de plaquettes de nouvelle génération, les douilles en carbure de silicium ultra-pur Semicorex garantissent une contamination minimale et offrent des performances de durée de vie exceptionnelles. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

La douille en carbure de silicium ultra-plate Semicorex est un carbure de silicium fritté de haute pureté qui a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, et une grande stabilité dans un environnement extrême, y compris une température élevée et une situation de travail corrosive.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de bagues en carbure de silicium de haute qualité et rentables, nous donnons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre douille en carbure de silicium.

Paramètres de la douille en carbure de silicium

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Knoop	2700	2800	/
Ténacité de rupture	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale dans l'air	℃	1200	1500	1600
Module d'élasticité	Gpa	360	410	240

La différence entre SSiC et RBSiC :

1. Le processus de frittage est différent. RBSiC consiste à infiltrer du Si libre dans du carbure de silicium à basse température, SSiC est formé par retrait naturel à 2100 degrés.

2. SSiC a une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée, pour certains joints avec des exigences de surface plus strictes, SSiC sera meilleur.

3. Différents temps d'utilisation sous différents PH et températures, SSiC est plus long que RBSiC

Caractéristiques de la douille en carbure de silicium

Graphite recouvert de SiC de haute pureté
Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.

Formes disponibles de céramiques au carbure de siliciumï¼

â Tige en céramique / goupille en céramique / piston en céramique

â Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique

â Anneau en céramique / Rondelle en céramique / Entretoise en céramique

â Disque en céramique

â Assiette en céramique / bloc en céramique

â Boule en céramique

â Piston en céramique

â Buse en céramique

â Creuset en céramique

â Autres pièces en céramique personnalisées