Bague en carbure de silicium

Parfaite pour les applications de lithographie et de manipulation de plaquettes de nouvelle génération, la bague en carbure de silicium ultra-pur Semicorex garantit une contamination minimale et offre des performances de durée de vie exceptionnellement longues. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

envoyer une demande

Description du produit

La bague en carbure de silicium ultra-plate Semicorex est un carbure de silicium fritté de haute pureté qui présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ainsi qu'une grande stabilité dans un environnement extrême, notamment à haute température et dans des situations de travail corrosives.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de bagues en carbure de silicium de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre bague en carbure de silicium.

Paramètres de la bague en carbure de silicium

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSIC	SSIC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Bouton	2700	2800	/
Briser la ténacité	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale de l'air	℃	1200	1500	1600
Module élastique	Gpa	360	410	240

La différence entre SSiC et RBSiC :

1. Le processus de frittage est différent. Le RBSiC consiste à infiltrer le Si libre dans le carbure de silicium à basse température, le SSiC est formé par retrait naturel à 2 100 degrés.

2. Les SSiC ont une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée. Pour certains joints ayant des exigences de surface plus strictes, le SSiC sera meilleur.

3. Temps d'utilisation différent sous différents pH et températures, SSiC est plus long que RBSiC

Caractéristiques de la bague en carbure de silicium

Graphite revêtu de SiC de haute pureté
Résistance thermique et uniformité thermique supérieures
Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.

Formes disponibles de céramiques en carbure de silicium :

● Tige en céramique/goupille en céramique/piston en céramique

● Tube en céramique / bague en céramique / manchon en céramique

● Bague en céramique / rondelle en céramique / entretoise en céramique

● Disque en céramique

● Plaque en céramique / bloc en céramique

● Boule en céramique

● Piston en céramique

● Buse en céramique

● Creuset en céramique

● Autres pièces en céramique sur mesure