Céramique de carbure de siliciumles palettes sont généralement installées près de l'ouverture du four ou de la chambre de traitement, avec une extrémité fixe et l'autre extrémité s'étendant dans le four ou la chambre de traitement. Pendant le traitement opérationnel, des palettes en céramique de carbure de silicium positionnent avec précision le support de tranche portant les tranches à l'emplacement désigné à l'intérieur du four ou de la chambre de traitement. Après le traitement, les palettes en porte-à-faux récupèrent le support, le sortent du four ou de la chambre et le remettent au bras robotique pour l'étape suivante de manipulation.

Les avantages des palettes céramiques en carbure de silicium Semicorex

1. Propriétés supérieures et qualité fiable

Les palettes en céramique de carbure de silicium Semicorex offrent une excellente stabilité à haute température, une résistance élevée, une dureté élevée, une stabilité chimique et un faible coefficient de dilatation thermique. Grâce à ces propriétés supérieures, les palettes en céramique de carbure de silicium Semicorex peuvent résister longtemps aux conditions de fonctionnement difficiles, telles que des températures élevées, une corrosion sévère, des charges lourdes et des opérations mécaniques fréquentes.

2. Support et transport précis

S'appuyant sur les excellentes performances de support et de transport, Semicorexpalettes en céramique de carbure de siliciumpeut fixer avec précision les supports de plaquettes en place pour garantir la concentricité des plaquettes par rapport aux tubes du four, ce qui réduit considérablement l'incohérence du processus causée par les secousses des plaquettes et le désalignement pendant le processus.

3. Fonctionnement automatisé très efficace

Les palettes en céramique de carbure de silicium Semicorex fonctionnent généralement en conjonction avec des systèmes robotiques automatisés de chargement et de manipulation pour obtenir un chargement et un déchargement rapides des plaquettes. Cela raccourcit considérablement les cycles de processus dans la fabrication de semi-conducteurs et photovoltaïques, améliore l'efficacité de la production et réduit les coûts d'opération manuelle et les risques d'erreur.

Les applications des palettes céramiques en carbure de silicium Semicorex

1. Fabrication de cellules photovoltaïques

Les palettes en céramique de carbure de silicium Semicorex sont bien adaptées aux processus thermiques des cellules photovoltaïques, tels que la diffusion, le LPCVD et le PECVD des cellules TOPCon et PERC. En assurant l'uniformité et la stabilité du processus, ces palettes contribuent à l'amélioration de l'efficacité de conversion des cellules photovoltaïques.

2. Fabrication de puces semi-conductrices

En tant que composants essentiels de support et de transport, les palettes en céramique de carbure de silicium Semicorex sont largement utilisées dans des processus tels que la lithographie, la gravure et le dépôt lors de la fabrication de puces semi-conductrices, permettant un transfert constamment stable et un positionnement précis des tranches.