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Bateau de wafer en céramique de carbure de silicium
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Bateau de wafer en céramique de carbure de silicium

Semicorex fournit des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de film de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre bateau de wafer en céramique de carbure de silicium a un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Bateau à tranches de céramique en carbure de silicium Semicorex, la solution ultime pour la manipulation et la protection des tranches dans la fabrication de semi-conducteurs.
Notre wafer en céramique de carbure de silicium est fabriqué à partir d'un matériau de haute qualité recouvert d'une couche de carbure de silicium (SiC) utilisant la méthode CVD, qui a une bonne résistance à la corrosion et une excellente résistance aux températures élevées et aux chocs thermiques. Les céramiques avancées offrent une excellente résistance thermique et une durabilité au plasma tout en atténuant les particules et les contaminants pour les supports de plaquettes haute capacité.


Paramètres du bateau de wafer en céramique de carbure de silicium

Propriétés techniques

Indice

Unité

Valeur

Nom du matériau

Carbure de silicium fritté par réaction

Carbure de silicium fritté sans pression

Carbure de silicium recristallisé

Composition

RBSiC

SSiC

R-SiC

Densité apparente

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2.60-2.70

Résistance à la flexion

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

Résistance à la compression

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Dureté

Knoop

2700

2800

/

Ténacité de rupture

MPa m1/2

4.5

4

/

Conductivité thermique

W/m.k

95

120

23

Coefficient de dilatation thermique

10-6.1/°C

5

4

4.7

Chaleur spécifique

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Température maximale dans l'air

1200

1500

1600

Module d'élasticité

Gpa

360

410

240


La différence entre SSiC et RBSiC :

1. Le processus de frittage est différent. RBSiC consiste à infiltrer du Si libre dans du carbure de silicium à basse température, SSiC est formé par retrait naturel à 2100 degrés.

2. SSiC a une surface plus lisse, une densité plus élevée et une résistance plus élevée, pour certains joints avec des exigences de surface plus strictes, SSiC sera meilleur.

3. Différents temps d'utilisation sous différents PH et températures, SSiC est plus long que RBSiC


Caractéristiques du bateau à gaufrettes en céramique en carbure de silicium

Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.



Balises actives: Bateau de gaufrette en céramique de carbure de silicium, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisé, en vrac, avancé, durable

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