Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
Semicorex fournit une bague d'étanchéité de haute qualité avec un service personnalisé. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex propose plusieurs types de composites C/SiC modifiés (composites à matrice céramique, CMC), zirconium et hafnium, silicium. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes composites à matrice céramique (CMC) SiC/SiC constituent une solution innovante pour améliorer les applications aérospatiales, notamment les composants de turbomachines et les systèmes de protection thermique. En utilisant le SiC, les performances et la durabilité de ces composants critiques peuvent être considérablement améliorées, ce qui aboutit à des technologies aérospatiales plus sûres et plus efficaces. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes composites à matrice céramique C/SiC sont un nouveau type de structure thermique/matériau d'intégration fonctionnelle qui combine les avantages des matériaux métalliques, céramiques et carbonés et présente les caractéristiques de résistance à haute température, de faible densité, de rapport de résistance élevé, de module spécifique élevé, résistance à l'oxydation, résistance à l'ablation, insensibilité aux fissures et aucun dommage catastrophique. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeDébloquez la quintessence de la performance et de la durabilité dans le domaine des équipements semi-conducteurs avec notre couvercle de pointe en graphite à revêtement SiC. Ce composant en forme de disque est conçu de manière experte pour diverses applications de semi-conducteurs, offrant une combinaison unique de revêtement en graphite et en carbure de silicium (SiC) pour améliorer la fonctionnalité et l'efficacité. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeDécouvrez la quintessence de la précision dans le raffinement de la surface des plaquettes semi-conductrices avec notre meule de pointe en carbure de silicium. Ce composant en forme de disque, méticuleusement conçu pour les équipements semi-conducteurs, redéfinit les normes de meulage de surface, garantissant des résultats optimaux pour les plaquettes semi-conductrices. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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