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Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.

Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.


Avantages pour les procédés semi-conducteurs

Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.


Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.


Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.


Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.


Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.


Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.


Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.


Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.


Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.


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Anneaux isolants en nitrure d'aluminium

Anneaux isolants en nitrure d'aluminium

Les anneaux isolants en nitrure d'aluminium Semicorex sont des composants indispensables dans la fabrication avancée de semi-conducteurs, en particulier dans les processus de traitement thermique à haute fréquence. Leur combinaison unique de stabilité à haute température, de propriétés d'étanchéité supérieures, de conductivité thermique exceptionnelle et de durabilité inhérente les rend essentiels pour garantir un contrôle précis des processus, des rendements élevés des dispositifs et une durée de vie prolongée des équipements dans l'environnement exigeant de la fabrication de semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des anneaux isolants en nitrure d'aluminium haute performance qui allient qualité et rentabilité.**

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Mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium

Mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium

Les mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium Semicorex offrent une combinaison convaincante de propriétés qui les rendent parfaitement adaptés aux exigences exigeantes du traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Leur capacité à assurer un serrage sûr et uniforme des plaquettes, une excellente gestion thermique et une résistance aux environnements de traitement difficiles se traduit par des performances améliorées des dispositifs, des rendements plus élevés et des coûts de fabrication réduits. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium haute performance qui allient qualité et rentabilité.**

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Mandrins d'inspection de plaquettes SiC

Mandrins d'inspection de plaquettes SiC

Les mandrins d'inspection de plaquettes SiC Semicorex sont des outils essentiels pour la fabrication avancée de semi-conducteurs, répondant aux demandes croissantes de précision, de propreté et de débit. Leurs propriétés matérielles supérieures se traduisent par des avantages tangibles tout au long du processus de fabrication des plaquettes, contribuant finalement à des rendements plus élevés, à des performances améliorées des dispositifs et à une réduction des coûts de fabrication globaux. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des mandrins d'inspection de plaquettes SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**

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Bras robotique en céramique d'alumine

Bras robotique en céramique d'alumine

Le bras robotique en céramique d'alumine Semicorex, également connu sous le nom de bras robotique en céramique de manipulation de plaquettes ou de fourchette de manipulation de plaquettes de silicium en céramique, est un composant d'équipement semi-conducteur haute performance. Sa conception prend en compte les exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa résistance aux températures élevées, à l'usure, à sa stabilité chimique et à ses excellentes propriétés d'isolation électrique, le bras en céramique d'alumine joue un rôle irremplaçable dans l'industrie mondiale de fabrication de semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des bras robotiques en céramique d'alumine haute performance qui allient qualité et rentabilité.**

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Tube de four à diffusion SiC

Tube de four à diffusion SiC

Les propriétés matérielles avancées du tube de four à diffusion Semicorex SiC, notamment une résistance élevée à la flexion, une résistance exceptionnelle à l'oxydation et à la corrosion, une résistance élevée à l'usure, un faible coefficient de frottement, des propriétés mécaniques supérieures à haute température et une ultra-haute pureté, le rendent indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs. , en particulier pour les applications de fours à diffusion. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des tubes de four à diffusion SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**

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Bateau de diffusion SiC

Bateau de diffusion SiC

Avec des propriétés matérielles de haute qualité, le bateau de diffusion Semicorex SiC représente une fonctionnalité optimale sur un large spectre de paramètres opérationnels : dureté, résilience, résistance thermique et chimique, etc. Ce choix de matériau est crucial pour réduire les risques de contamination, protéger les plaquettes et supporter le conditions exigeantes présentes dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des bateaux de diffusion SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**

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Semicorex produit Céramique depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Céramique en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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