Bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium

Sélection de matériaux haut de gamme

Les excellentes propriétés de la céramique de carbure de silicium Semicorexbateaux à plaquettessont dus à des matières premières de haute qualité. Fabriqués à partir d'un matériau SiSiC de qualité semi-conducteur et recouverts d'un revêtement CVD SiC, les bateaux à plaquettes céramiques en carbure de silicium présentent les excellentes propriétés suivantes.

1. Ultra-haute pureté, sans libération d'impuretés métalliques

Impureté du substrat : ＜100 ppm

Impureté du revêtement CVD SiC : ＜1 ppm

2. Stabilité thermique supérieure

Les bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium sont capables de fonctionner de manière constante dans des conditions de température élevée de 1 250 ℃, offrant une déformation et une résistance au fluage minimales.

3. Haute résistance mécanique

Carbure de siliciumpossède une dureté et une résistance à l'usure élevées, permettant aux bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium Semicorex de résister aux rayures, à l'abrasion et aux dommages, fonctionnant ainsi bien pendant un fonctionnement à long terme et résistant aux dommages.

4. Résistance exceptionnelle à la corrosion

Parce que le carbure de silicium est résistant à la corrosion causée par les acides et les alcalis forts, les bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium Semicorex peuvent maintenir son intégrité structurelle et ses performances fonctionnelles même dans des conditions de travail très corrosives.

Conception structurelle optimisée

Les bateaux à plaquettes céramiques en carbure de silicium Semicorex sont conçus pour le traitement des plaquettes par lots. Leur cadre structurel optimisé garantit un support stable des plaquettes par lots et une stabilité de processus constante pour chaque plaquette.

Structure de support verticale à 1,3 poteaux

La structure verticale des nacelles de plaquettes céramiques en carbure de silicium Semicorex leur permet de s'adapter parfaitement aux applications de fours verticaux. Grâce à cette structure, les bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium emicorex peuvent faciliter la circulation homogène des gaz de traitement et la distribution uniforme de l'énergie thermique dans le four à haute température.

2. Pincements de fente uniformément répartis

Les bateaux à plaquettes céramiques en carbure de silicium Semicorex sont équipés de plusieurs pinces à fentes usinées avec précision sur leurs poteaux de support. Leurs pincements de fentes uniformément espacés permettent d'obtenir un espacement de fente approprié, ce qui permet aux bateaux de tranches en céramique de carbure de silicium de fixer fermement les tranches de semi-conducteurs, contribuant ainsi à améliorer la cohérence des résultats de traitement thermique des tranches.

Avec autant d'excellentes performances et fonctions, les bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium Semicorex sont largement utilisés dans les processus de base de la fabrication de plaquettes semi-conductrices, tels que l'oxydation, la diffusion, l'implantation ionique et le recuit à haute température.