Suscepteur MOCVD de substrat de graphite de carbure de silicium

Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor est le choix ultime pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche d'un support de haute qualité pouvant offrir des performances et une durabilité supérieures. Son matériau avancé assure un profil thermique uniforme et un schéma d'écoulement de gaz laminaire, offrant des plaquettes de haute qualité.

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Description du produit

Notre suscepteur MOCVD à substrat de graphite et de carbure de silicium est très pur, fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température, garantissant l'uniformité et la consistance du produit. Il est également très résistant à la corrosion, avec une surface dense et de fines particules, ce qui le rend résistant aux acides, aux alcalis, au sel et aux réactifs organiques. Sa résistance à l'oxydation à haute température assure une stabilité à haute température jusqu'à 1600°C.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre suscepteur MOCVD à substrat de graphite et de carbure de silicium.

Paramètres du suscepteur MOCVD de substrat de graphite de carbure de silicium

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur en graphite revêtu de SiC pour MOCVD

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire
- Garantir l'uniformité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés

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