Tube de processus en carbure de silicium

Le tube de traitement en carbure de silicium Semicorex est un composant crucial dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, spécialement conçu pour être utilisé dans les fours verticaux utilisés dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion. Ce tube spécialisé joue un rôle central en facilitant le traitement thermique contrôlé et précis des tranches semi-conductrices au cours de leur parcours à travers des processus de fabrication critiques.

Construit à partir de carbure de silicium de haute pureté, ce tube de traitement en carbure de silicium présente une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance aux températures extrêmes et une résistance mécanique exceptionnelle. Ses propriétés matérielles uniques en font un choix idéal pour les applications exigeant des températures élevées et des environnements chimiques difficiles couramment rencontrés dans le traitement des semi-conducteurs.

Dans le four vertical, le tube de traitement en carbure de silicium fournit une atmosphère protectrice et contrôlée aux tranches de semi-conducteurs lorsqu'elles subissent des processus tels que RTP. Le RTP implique des cycles de chauffage et de refroidissement rapides essentiels à l'activation des dopants, au recuit et à d'autres traitements thermiques cruciaux pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. La nature robuste du tube de traitement en carbure de silicium garantit longévité et fiabilité dans des environnements thermiques et chimiques aussi exigeants, contribuant ainsi à l'efficacité et à la précision globales du processus de fabrication des semi-conducteurs.