Bateau à plaquettes vertical

Le Semicorex Vertical Wafer Boat est un support spécialement conçu pour plusieurs plaquettes qui maximise l'efficacité de l'espace dans les chambres de traitement. Ces bateaux à plaquettes verticaux sont généralement de forme rectangulaire ou cylindrique, et chaque bateau est doté de fentes ou de poches usinées avec précision qui sont espacées pour maintenir solidement les plaquettes individuelles en position verticale. Les bateaux à plaquettes verticales sont fabriqués à partir de carbure de silicium (SiC) qui offre une excellente résistance aux températures élevées, aux produits chimiques corrosifs et aux contraintes mécaniques, ce qui les rend idéaux pour protéger les plaquettes contre les dommages potentiels.

Lors de la fabrication des semi-conducteurs, les plaquettes sont soumises à de nombreux processus complexes, notamment la diffusion, le RTP et les champs thermiques. Le Vertical Wafer Boat joue un rôle essentiel en facilitant ces processus en servant de support pour les plaquettes, permettant un transfert transparent entre les différents équipements et étapes. Son orientation verticale minimise l'encombrement dans les chambres de traitement, optimisant le débit et permettant une manipulation efficace de grands lots de tranches.

Le Semicorex Vertical Wafer Boat est la pierre angulaire du traitement des semi-conducteurs, offrant une solution robuste et fiable pour la manipulation et le transport en toute sécurité des plaquettes tout au long des différentes étapes de fabrication. Sa conception avancée, associée aux propriétés exceptionnelles du SiC, souligne son rôle central dans la production de dispositifs semi-conducteurs de pointe.