Semicorex fournit des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de film de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre Wafer Boat pour le processus de semi-conducteur a un bon avantage de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process, la solution ultime pour la manipulation et la protection des plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs. Notre wafer boat pour le processus des semi-conducteurs est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute qualité, qui a une bonne résistance à la corrosion et une excellente résistance aux températures élevées et aux chocs thermiques. Les céramiques avancées offrent une excellente résistance thermique et une durabilité au plasma tout en atténuant les particules et les contaminants pour les supports de plaquettes haute capacité.
Paramètres de Wafer Boat pour le processus de semi-conducteur
Propriétés techniques |
||||
Indice |
Unité |
Valeur |
||
Nom du matériau |
Carbure de silicium fritté par réaction |
Carbure de silicium fritté sans pression |
Carbure de silicium recristallisé |
|
Composition |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densité apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Résistance à la flexion |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Résistance à la compression |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureté |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Ténacité de rupture |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductivité thermique |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficient de dilatation thermique |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Chaleur spécifique |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Température maximale dans l'air |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Module d'élasticité |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Caractéristiques du Wafer Boat pour le processus des semi-conducteurs
Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.