Wafer Boat pour le processus de semi-conducteurs

Semicorex propose des bateaux à plaquettes, des socles et des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Nous sommes fabricant et fournisseur de films de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre Wafer Boat pour le processus de semi-conducteurs présente un bon avantage en termes de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process, la solution ultime pour la manipulation et la protection des plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs. Notre bateau à plaquettes pour le processus de semi-conducteurs est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute qualité, qui présente une bonne résistance à la corrosion et une excellente résistance aux températures élevées et aux chocs thermiques. Les céramiques avancées offrent une excellente résistance thermique et une excellente durabilité du plasma tout en atténuant les particules et les contaminants pour les supports de tranches de grande capacité.

Paramètres du Wafer Boat pour le processus des semi-conducteurs

Propriétés techniques
Indice	Unité	Valeur
Nom du matériau		Carbure de silicium fritté par réaction	Carbure de silicium fritté sans pression	Carbure de silicium recristallisé
Composition		RBSIC	SSIC	R-SiC
Densité apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Résistance à la flexion	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Résistance à la compression	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureté	Bouton	2700	2800	/
Briser la ténacité	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivité thermique	W/m.k	95	120	23
Coefficient de dilatation thermique	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Chaleur spécifique	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Température maximale de l'air	℃	1200	1500	1600
Module élastique	Gpa	360	410	240

Caractéristiques du bateau à plaquettes pour le processus de semi-conducteurs

Résistance thermique supérieure et uniformité thermique
Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.

Balises actives: Bateau de plaquettes pour le processus de semi-conducteurs, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisé, en vrac, avancé, durable

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