Bafouette

Les bateaux à plaquettes semicorex fabriqués à partir de carbure de silicium de haute pureté (SIC) sont des composants essentiels dans la fabrication de semi-conducteurs. Les processus semi-conducteurs dans lesquels ils sont utilisés comprennent généralement des environnements à haute température et corrosifs tels que la diffusion, l'oxydation et les processus LPCVD. L'application de bateaux à plaquettes SIC a été conçue pour maximiser la stabilité thermique et la résistance aux produits chimiques, permettant un support optimal, un alignement et un transport de plaquettes de silicium pendant le traitement des rendements optimaux et des performances du dispositif.

Le carbure de silicium est bien documenté comme une excellente céramique thermiquement conductrice, présentant une résistance mécanique élevée et une résistance aux chocs thermiques supérieurs, une résistance à l'oxydation et une résistance chimique agressive avec des produits chimiques tels que HF et HCl. Les propriétés du SIC le rendent particulièrement attrayant comme matériau pour les bateaux à plaquettes pour les processus de fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération et dans des environnements à haute température. Les bateaux à plaquettes SIC peuvent maintenir l'intégrité structurelle et la stabilité dimensionnelle à des températures de processus> 1500 ° C, minimisant le risque de déformation ou de contamination des plaquettes dans les traitements thermiques critiques.

Chaque sicplaquetteest fabriqué à partir de SIC de haute pureté en utilisant des processus avancés de formage et de frittage en céramique, et peut être adapté à une large gamme de diamètres de plaquettes (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) ainsi que des configurations d'empilement, qu'elles soient verticales ou horizontales. Nos bateaux à plaquettes SIC ont des surfaces lisses et une excellente planéité qui minimise la génération de particules et sont idéales pour les systèmes de manipulation automatisés.

Le contrôle et le rendement des contamination sont deux des problèmes les plus critiques des FAB modernes. La propreté et la fiabilité des transporteurs de plaquettes SIC influencent les performances du processus de qualité du produit et de cohérence.  Les bateaux à plaquettes SIC ont une bien meilleure longévité pour l'utilisation, ont moins d'exigences de maintenance et des alternatives TCO inférieures à celles de quartz ou d'alumine. Une meilleure longévité signifie également moins de problèmes avec la perte de micro-particules, donc encore une fois, un impact sur la propreté de la surface de la plaquette et un impact sur la propreté des pièces propres.

Semicorex se concentre sur la conception et la fabrication de bateaux à plaquettes SIC qui utilisent les matières premières de pureté les plus élevées possibles avec un frittage à faible atmosphère de contamination.  Nous nous efforçons de maintenir de faibles niveaux d'impuretés, de maintenir la porosité à faible valeur et de microstructure uniforme afin que le travail de l'équipe puisse régulièrement profiter de caractéristiques thermiques cohérentes, un espacement précis de la plaquette et une résistance à dégradation chimique inégalée.

Semicorex sicbafouettesont un élément nécessaire du traitement à haute température des semi-conducteurs. Les bateaux à gaufrettes de silicium de silicium de haute pureté ont des caractéristiques de matériaux inégalées, l'excellence conçue et le tempérament sans contamination, en font le choix de haut niveau pour la fabrication de plaquettes à haute performance. Semicorex offre la fiabilité et les performances élevées innovantes pour soutenir vos processus semi-conducteurs critiques les plus mis en mission.