Mandrin à vide pour plaquettes

Parfaits pour les applications de lithographie et de manipulation de plaquettes de nouvelle génération, les composants en céramique ultra-pure Semicorex garantissent une contamination minimale et offrent des performances de durée de vie exceptionnellement longues. Notre mandrin à vide pour plaquettes présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Le mandrin à vide pour plaquettes en céramique ultra-plate Semicorex est recouvert de SiC de haute pureté et utilisé dans le processus de manipulation des plaquettes. Mandrin à vide pour plaquettes semi-conductrices par équipement MOCVD La croissance du composé a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême et améliore la gestion du rendement pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Les configurations à faible contact avec la surface minimisent le risque de particules arrière pour les applications sensibles.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de mandrins à vide pour plaquettes de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres du mandrin à vide pour plaquettes

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300