Parfaits pour les applications de lithographie et de manipulation de plaquettes de nouvelle génération, les composants en céramique ultra-pure Semicorex garantissent une contamination minimale et offrent des performances de durée de vie exceptionnellement longues. Notre mandrin sous vide Wafer a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
Le mandrin à vide pour plaquettes en céramique ultra-plat Semicorex est revêtu de SiC de haute pureté utilisé dans le processus de manipulation des plaquettes. Mandrin à vide pour plaquettes semi-conductrices par équipement MOCVD La croissance du composé a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, qui a une grande stabilité dans un environnement extrême et améliore la gestion du rendement pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Les configurations à faible contact de surface minimisent le risque de particules à l'arrière pour les applications sensibles.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de mandrins à vide pour plaquettes de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
Paramètres du mandrin à vide Wafer
Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC |
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Propriétés SiC-CVD |
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Structure en cristal |
Phase β FCC |
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Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille d'un grain |
μm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force Felexurale |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (pli 4pt, 1300â) |
430 |
Dilatation Thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques du mandrin à vide Wafer
â Capacités ultra-plates
â Poli miroir
â Légèreté exceptionnelle
â Haute rigidité
â Faible dilatation thermique
â Φ 300 mm de diamètre et au-delà
â Résistance extrême à l'usure