Récepteur baril EPI 3 1/4"

Le revêtement Semicorex SiC EPI 3 1/4" Barrel Susceptor offre une excellente stabilité thermique et une résistance aux attaques chimiques, tandis que le substrat en graphite offre des propriétés de transfert de chaleur supérieures.

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Description du produit

Le suscepteur semicorex EPI 3 1/4" est un produit en graphite de haute qualité recouvert de SiC de haute pureté, offrant une résistance exceptionnelle à la chaleur et à la corrosion. Il est spécifiquement conçu pour les applications LPE dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.

Nos suscepteurs à baril EPI 3 1/4" sont conçus pour être utilisés dans une variété d'industries, notamment l'aérospatiale, l'automobile et l'électronique. Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité à un prix compétitif et nous nous engageons à construire des produits à long terme. relations avec nos clients. Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur nosRevêtement SiCcreusets en graphite et comment ils peuvent profiter à votre entreprise.

Paramètres du suscepteur de baril EPI 3 1/4"

Principales spécifications deCVD-SICRevêtement
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300