Suscepteur de baril recouvert de carbure de silicium

Le suscepteur à baril recouvert de carbure de silicium Semicorex est un produit en graphite de haute qualité recouvert de SiC de haute pureté, offrant une résistance exceptionnelle à la chaleur et à la corrosion. Il est spécialement conçu pour les applications LPE dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.

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Description du produit

NotreSuscepteur de baril recouvert de carbure de siliciumde Semicorex est une solution idéale pour la culture de monocristaux dans des environnements corrosifs et à haute température.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de produits de haute qualité et rentablesrevêtement en carbure de siliciumsuscepteur de baril, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres deRevêtement en carbure de siliciumRécepteur de baril

Principales spécifications deRevêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module d'Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Les caractéristiques deRevêtement en carbure de siliciumRécepteur de baril

- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une bonne densité et peuvent jouer un bon rôle de protection dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.

- Le suscepteur recouvert de carbure de silicium utilisé pour la croissance monocristalline présente une très grande planéité de surface.

- Réduisez la différence de coefficient de dilatation thermique entre le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium, améliorez efficacement la force de liaison pour éviter les fissures et le délaminage.

- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.

- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.