Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteurs de baril à revêtement SiC en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs épitaxiés. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.
SemicorexSuscepteur de baril recouvert de SiCest un support de graphite revêtu de SiC de haute pureté, utilisé dans le processus pour faire croître la couche épitaxiale sur la puce de tranche, qui convient à de nombreux réacteurs épitaxiaux. Il présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui lui confère une grande stabilité dans des environnements extrêmes.
NotreRevêtement SiCBarrel Susceptor est également résistant à l’oxydation et à la corrosion à haute température, ce qui en fait un produit fiable et durable. Son point de fusion élevé garantit qu'il peut résister à l'environnement à haute température requis pour une fabrication efficace de semi-conducteurs.
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Paramètres deRevêtement SiCRécepteur de baril
Principales spécifications du revêtement CVD-SIC |
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Propriétés SiC-CVD |
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Structure cristalline |
Phase β du FCC |
|
Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille des grains |
µm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J kg-1 K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force de flexion |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (courbure 4pt, 1300℃) |
430 |
Expansion thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques deRevêtement SiCRécepteur de baril
- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
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- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés