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Suscepteur de baril recouvert de SiC
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Suscepteur de baril recouvert de SiC

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteurs de baril à revêtement SiC en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs épitaxiés. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

SemicorexSuscepteur de baril recouvert de SiCest un support de graphite revêtu de SiC de haute pureté, utilisé dans le processus pour faire croître la couche épitaxiale sur la puce de tranche, qui convient à de nombreux réacteurs épitaxiaux. Il présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui lui confère une grande stabilité dans des environnements extrêmes.
NotreRevêtement SiCBarrel Susceptor est également résistant à l’oxydation et à la corrosion à haute température, ce qui en fait un produit fiable et durable. Son point de fusion élevé garantit qu'il peut résister à l'environnement à haute température requis pour une fabrication efficace de semi-conducteurs.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notreRevêtement SiCRécepteur de baril


Paramètres deRevêtement SiCRécepteur de baril

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal

Phase β du FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille d'un grain

µm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J kg-1 K-1

640

Température de sublimation

2700

Force de flexion

MPa (RT 4 points)

415

Module d'Young

Gpa (courbure 4pt, 1300℃)

430

Expansion thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Les caractéristiques deRevêtement SiCRécepteur de baril

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire

- Garantir la régularité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés




Balises actives: Suscepteur de baril revêtu de SiC, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisé, en vrac, avancé, durable

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