Suscepteur de baril recouvert de SiC

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteurs de baril à revêtement SiC en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs épitaxiés. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

SemicorexSuscepteur de baril recouvert de SiCest un support de graphite revêtu de SiC de haute pureté, utilisé dans le processus pour faire croître la couche épitaxiale sur la puce de tranche, qui convient à de nombreux réacteurs épitaxiaux. Il présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui lui confère une grande stabilité dans des environnements extrêmes.
NotreRevêtement SiCBarrel Susceptor est également résistant à l’oxydation et à la corrosion à haute température, ce qui en fait un produit fiable et durable. Son point de fusion élevé garantit qu'il peut résister à l'environnement à haute température requis pour une fabrication efficace de semi-conducteurs.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notreRevêtement SiCRécepteur de baril

Paramètres deRevêtement SiCRécepteur de baril

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module d'Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300