Si vous recherchez un suscepteur en graphite de haute qualité revêtu de SiC de haute pureté, le suscepteur cylindrique Semicorex LPE avec revêtement SiC est le choix parfait. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur le rendent idéal pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
Le suscepteur cylindrique Semicorex LPE avec revêtement SiC est un produit en graphite de qualité supérieure revêtu de SiC de haute pureté, ce qui en fait le choix idéal pour une utilisation dans des environnements à haute température et corrosifs. Son excellente densité et sa conductivité thermique offrent une distribution de chaleur et une protection exceptionnelles dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de produits de haute qualité et rentables à nos clients. Notre suscepteur de baril LPE avec revêtement SiC a un avantage de prix et est exporté vers de nombreux marchés européens et américains. Nous visons à être votre partenaire à long terme, offrant des produits de qualité constante et un service client exceptionnel.
Paramètres du suscepteur de baril LPE avec revêtement SiC
Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC |
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Propriétés SiC-CVD |
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Structure en cristal |
Phase β FCC |
|
Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille d'un grain |
μm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force Felexurale |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (pli 4pt, 1300â) |
430 |
Dilatation Thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques du suscepteur de barillet LPE avec revêtement SiC
- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une bonne densité et peuvent jouer un bon rôle de protection dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.
- Le suscepteur revêtu de carbure de silicium utilisé pour la croissance de monocristaux a une planéité de surface très élevée.
- Réduit la différence de coefficient de dilatation thermique entre le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium, améliore efficacement la force de liaison pour éviter les fissures et le délaminage.
- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.
- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.