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Système Epi à baril chauffé par induction
Si vous avez besoin d'un suscepteur en graphite doté de propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur, ne cherchez pas plus loin que le système Epi à baril chauffé par induction Semicorex. Son revêtement SiC de haute pureté offre une protection supérieure dans les environnements corrosifs et à haute température, ce qui en fait le choix idéal pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
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Structure de baril pour réacteur épitaxial à semi-conducteurs
Avec ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de distribution de chaleur, la structure en barillet Semicorex pour réacteur épitaxial à semi-conducteurs est le choix idéal pour une utilisation dans les processus LPE et d'autres applications de fabrication de semi-conducteurs. Son revêtement SiC de haute pureté offre une protection supérieure dans les environnements corrosifs et à haute température.
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Suscepteur de corps en graphite revêtu de SiC
Si vous recherchez un suscepteur en graphite haute performance à utiliser dans les applications de fabrication de semi-conducteurs, le suscepteur à corps en graphite à revêtement SiC Semicorex est le choix idéal. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur en font le choix idéal pour des performances fiables et constantes dans des environnements corrosifs et à haute température.
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Suscepteur de croissance cristalline recouvert de SiC
Avec son point de fusion élevé, sa résistance à l'oxydation et à la corrosion, le suscepteur de croissance cristalline à revêtement SiC Semicorex est le choix idéal pour une utilisation dans les applications de croissance monocristalline. Son revêtement en carbure de silicium offre d'excellentes propriétés de planéité et de répartition de la chaleur, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements à haute température.
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Suscepteur en baril pour l'épitaxie en phase liquide
Si vous avez besoin d'un suscepteur en graphite capable de fonctionner de manière fiable et constante, même dans les environnements corrosifs et à haute température les plus exigeants, le suscepteur Semicorex Barrel pour épitaxie en phase liquide est le choix idéal. Son revêtement en carbure de silicium offre une excellente conductivité thermique et une excellente répartition de la chaleur, garantissant des performances exceptionnelles dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
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Corps en graphite recouvert de carbure de silicium
Le corps en graphite recouvert de carbure de silicium Semicorex est le choix idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs qui nécessitent une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur le rendent idéal pour une utilisation dans les processus LPE et autres environnements à haute température.
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