Maison > Des produits > Revêtement en carbure de silicium > Suscepteur de baril > Suscepteur de corps en graphite revêtu de SiC
Suscepteur de corps en graphite revêtu de SiC

Suscepteur de corps en graphite revêtu de SiC

Si vous recherchez un suscepteur en graphite haute performance à utiliser dans les applications de fabrication de semi-conducteurs, le suscepteur à corps en graphite à revêtement SiC Semicorex est le choix idéal. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur en font le choix idéal pour des performances fiables et constantes dans des environnements corrosifs et à haute température.

envoyer une demande

Description du produit

Le suscepteur à corps en graphite à revêtement SiC Semicorex est le choix idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs qui nécessitent une distribution de chaleur et une conductivité thermique exceptionnelles. Son revêtement SiC de haute pureté et sa densité supérieure offrent des propriétés supérieures de protection et de répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables et constantes, même dans les environnements les plus difficiles.

Notre suscepteur à baril en graphite revêtu de SiC est conçu pour obtenir le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire, garantissant ainsi l'uniformité du profil thermique. Cela permet d'éviter toute contamination ou diffusion d'impuretés, garantissant ainsi une croissance épitaxiale de haute qualité sur la puce.

Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre suscepteur en graphite à revêtement SiC.


Paramètres du suscepteur à baril en graphite revêtu de SiC

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal

Phase β du FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille d'un grain

µm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J kg-1 K-1

640

Température de sublimation

2700

Force de flexion

MPa (RT 4 points)

415

Module d'Young

Gpa (courbure 4pt, 1300℃)

430

Expansion thermique (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


Caractéristiques du suscepteur en graphite à revêtement SiC

- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une bonne densité et peuvent jouer un bon rôle de protection dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.

- Le suscepteur recouvert de carbure de silicium utilisé pour la croissance monocristalline présente une très grande planéité de surface.

- Réduisez la différence de coefficient de dilatation thermique entre le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium, améliorez efficacement la force de liaison pour éviter les fissures et le délaminage.

- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.

- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.






Balises actives: Suscepteur de baril de graphite enduit de SiC, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisé, en vrac, avancé, durable

Catégorie associée

envoyer une demande

N'hésitez pas à faire votre demande dans le formulaire ci-dessous. Nous vous répondrons dans les 24 heures.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept