Support revêtu de SiC RTP RTA

Semicorex fournit le RTP RTA SiC Coated Carrier utilisé pour supporter les wafers, ce qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif. RTP RTA SiC Coated Carrier avec une construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté offre une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique durable. Le revêtement en cristal SiC fin offre une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les plaquettes vierges entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de supports revêtus RTP RTA SiC de haute qualité et rentables, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres du support revêtu de SiC RTP RTA

Caractéristiques du support revêtu de SiC RTP RTA

- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une bonne densité et peuvent jouer un bon rôle de protection dans les environnements de travail à haute température et corrosifs.
- Le suscepteur revêtu de carbure de silicium utilisé pour la croissance de monocristaux a une planéité de surface très élevée.
- Réduit la différence de coefficient de dilatation thermique entre le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium, améliore efficacement la force de liaison pour éviter les fissures et le délaminage.
- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.
- Point de fusion élevé, résistance à l'oxydation à haute température, résistance à la corrosion.