Plaque support RTP revêtue de SiC pour la croissance épitaxiale

La plaque support RTP avec revêtement SiC Semicorex pour croissance épitaxiale est la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes semi-conductrices. Avec ses suscepteurs en graphite de carbone de haute qualité et ses creusets en quartz traités par MOCVD sur la surface du graphite, de la céramique, etc., ce produit est idéal pour la manipulation de plaquettes et le traitement de croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC garantit une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, ce qui en fait un choix fiable pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.

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Description du produit

Notre plaque support RTP revêtue de SiC pour la croissance épitaxiale est conçue pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à leur résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, les suscepteurs d'épitaxie sont soumis à un environnement de dépôt parfait pour la croissance épitaxiale. Le revêtement fin en cristal SiC sur le support garantit une surface lisse et une grande durabilité contre le nettoyage chimique, tandis que le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.
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Paramètres de la plaque porteuse RTP revêtue de SiC pour la croissance épitaxiale

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques de la plaque porteuse RTP à revêtement SiC pour la croissance épitaxiale

Graphite revêtu de SiC de haute pureté
Résistance thermique supérieure et uniformité thermique
Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.

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