Bateaux à cassettes en carbure de silicium

Semicorexbateaux à cassettes en carbure de siliciumsont les composants de transport indispensables, avec leur structure stable et à haute résistance, qui maintiennent, transfèrent et manipulent en toute sécurité et avec précision plusieurs tranches de semi-conducteurs. Ils sont largement utilisés dans les différents processus de semi-conducteurs à haute température pour garantir une distribution optimisée de la chaleur et du flux de gaz pour des résultats de traitement cohérents.

Matière première soigneusement sélectionnée

Fabriqués avec précision à partir de poudre de carbure de silicium de qualité semi-conductrice par frittage à haute température, les cassettes en carbure de silicium Semicorex possèdent les excellentes propriétés suivantes.

1.Ultra-haute pureté :La teneur en impuretés du substrat est contrôlée pour être inférieure à 100 PPM, et le niveau d'impuretés deCarbure de silicium CVDle revêtement peut atteindre moins de 1 PPM.

2. Résistance à la corrosion fiable :La céramique de carbure de silicium offre une forte résistance à la corrosion et résiste à la corrosion causée par la plupart des acides (tels que l'acide chlorhydrique, l'acide sulfurique et l'acide fluorhydrique), les alcalis (tels que la soude caustique), les solvants et les milieux oxydants.

3. Capacité de gestion thermique exceptionnelle :Avec une résistance thermique exceptionnelle et un faible coefficient de dilatation thermique, les cassettes en carbure de silicium peuvent conserver leurs propriétés chimiques et leur résistance mécanique même lorsqu'elles sont exposées à des conditions de fonctionnement prolongées à une température élevée autour de 1 250 °C.

Structure conçue avec précision

1. Structure de cadre horizontale :La structure du cadre horizontal des bateaux à cassettes en carbure de silicium Semicorex les rend parfaitement adaptés aux tubes horizontaux des fours à haute température.

2. Encoches uniformément espacées :Dotés de nombreuses encoches uniformément espacées, les cassettes en carbure de silicium Semicorex peuvent maintenir fermement la tranche en place, ce qui peut empêcher de manière significative les rayures, abrasions et dommages indésirables résultant du déplacement de la tranche, garantissant ainsi efficacement la stabilité du processus de semi-conducteur et le rendement de la tranche.

3. Conception multi-emplacements :Plusieurs emplacements conçus pour transporter plusieurs tranches permettent aux bateaux à cassettes en carbure de silicium Semicorex d'améliorer leur débit de traitement par lots uniques et leur efficacité globale de production.

4. Architecture ouverte :Les bateaux à cassettes en carbure de silicium Semicorex sont équipés d'une architecture ouverte réfléchie, qui peut aider à obtenir une distribution uniforme du gaz et un contact de réaction suffisant, minimisant ainsi efficacement les résultats de processus incohérents.