Le revêtement SiC est une fine couche appliquée sur le suscepteur grâce au processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le matériau en carbure de silicium offre un certain nombre d'avantages par rapport au silicium, notamment une intensité de champ électrique de claquage 10 fois supérieure, une bande interdite 3 fois supérieure, ce qui confère au matériau une résistance élevée aux températures et aux produits chimiques, une excellente résistance à l'usure ainsi qu'une conductivité thermique.
Semicorex fournit un service personnalisé, vous aide à innover avec des composants qui durent plus longtemps, à réduire les temps de cycle et à améliorer les rendements.
Le revêtement SiC possède plusieurs avantages uniques
Résistance aux hautes températures : le suscepteur à revêtement CVD SiC peut résister à des températures élevées jusqu'à 1 600 °C sans subir de dégradation thermique significative.
Résistance chimique : Le revêtement en carbure de silicium offre une excellente résistance à un large éventail de produits chimiques, notamment les acides, les alcalis et les solvants organiques.
Résistance à l’usure : le revêtement SiC confère au matériau une excellente résistance à l’usure, ce qui le rend adapté aux applications impliquant une usure élevée.
Conductivité thermique : le revêtement CVD SiC confère au matériau une conductivité thermique élevée, ce qui le rend adapté à une utilisation dans des applications à haute température nécessitant un transfert de chaleur efficace.
Haute résistance et rigidité : le suscepteur revêtu de carbure de silicium confère au matériau une résistance et une rigidité élevées, ce qui le rend adapté aux applications nécessitant une résistance mécanique élevée.
Le revêtement SiC est utilisé dans diverses applications
Fabrication de LED : le suscepteur à revêtement CVD SiC est utilisé dans la fabrication de divers types de LED, notamment les LED bleues et vertes, les LED UV et les LED UV profonds, en raison de sa conductivité thermique élevée et de sa résistance chimique.
Communication mobile : le suscepteur à revêtement CVD SiC est un élément crucial du HEMT pour compléter le processus d'épitaxie GaN-sur-SiC.
Traitement des semi-conducteurs : le suscepteur à revêtement CVD SiC est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour diverses applications, notamment le traitement des plaquettes et la croissance épitaxiale.
Composants en graphite revêtus de SiC
Fabriqué à partir de graphite avec revêtement en carbure de silicium (SiC), le revêtement est appliqué par une méthode CVD sur des qualités spécifiques de graphite haute densité, de sorte qu'il peut fonctionner dans un four à haute température avec plus de 3 000 °C dans une atmosphère inerte et 2 200 °C sous vide. .
Les propriétés spéciales et la faible masse du matériau permettent des vitesses de chauffage rapides, une répartition uniforme de la température et une précision de contrôle exceptionnelle.
Données matérielles du revêtement Semicorex SiC
Propriétés typiques |
Unités |
Valeurs |
Structure |
|
Phase β du FCC |
Orientation |
Fraction (%) |
111 préféré |
Densité apparente |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Capacité thermique |
J kg-1 K-1 |
640 |
Dilatation thermique 100-600 °C (212-1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Module de Young |
Gpa (courbure 4pt, 1300℃) |
430 |
Taille des grains |
µm |
2~10 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force de flexion |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Conclusion Le suscepteur à revêtement CVD SiC est un matériau composite qui combine les propriétés d'un suscepteur et du carbure de silicium. Ce matériau possède des propriétés uniques, notamment une résistance aux températures élevées et aux produits chimiques, une excellente résistance à l’usure, une conductivité thermique élevée ainsi qu’une résistance et une rigidité élevées. Ces propriétés en font un matériau attrayant pour diverses applications à haute température, notamment le traitement des semi-conducteurs, le traitement chimique, le traitement thermique, la fabrication de cellules solaires et la fabrication de LED.
Si vous recherchez un suscepteur en graphite de haute qualité recouvert de SiC de haute pureté, le suscepteur Semicorex Barrel avec revêtement SiC en semi-conducteur est le choix parfait. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur le rendent idéal pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeAvec sa densité et sa conductivité thermique supérieures, le suscepteur en baril à revêtement SiC Semicorex pour la croissance épitaxiale est le choix idéal pour une utilisation dans des environnements corrosifs et à haute température. Revêtu de SiC de haute pureté, ce produit en graphite offre une excellente protection et répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables et constantes dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur cylindrique à revêtement SiC Semicorex pour épitaxie de plaquettes est le choix idéal pour les applications de croissance de monocristaux, grâce à sa surface exceptionnellement plate et à son revêtement SiC de haute qualité. Son point de fusion élevé, sa résistance à l’oxydation et à la corrosion en font un choix idéal pour une utilisation dans des environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeLe baril de réacteur épitaxial revêtu de SiC Semicorex est un produit en graphite de qualité supérieure recouvert de SiC de haute pureté. Son excellente densité et conductivité thermique en font un choix idéal pour une utilisation dans les processus LPE, offrant une distribution de chaleur et une protection exceptionnelles dans les environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur de baril de réacteur à revêtement en carbure Semicorex est un produit en graphite de qualité supérieure recouvert de SiC de haute pureté, conçu spécifiquement pour les processus LPE. Avec une excellente résistance à la chaleur et à la corrosion, ce produit est parfait pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe baril de suscepteur à revêtement SiC de Semicorex pour chambre de réacteur épitaxial est une solution hautement fiable pour les processus de fabrication de semi-conducteurs, présentant des propriétés supérieures de distribution de chaleur et de conductivité thermique. Il est également très résistant à la corrosion, à l’oxydation et aux températures élevées.
En savoir plusenvoyer une demande