La céramique de carbure de silicium (SiC) est un matériau céramique avancé contenant du silicium et du carbone. Les grains de carbure de silicium peuvent être liés entre eux par frittage pour former des céramiques très dures. Semicorex fournit des céramiques de carbure de silicium personnalisées selon vos besoins.
Applications
Avec les céramiques en carbure de silicium, les propriétés du matériau restent constantes jusqu'à des températures supérieures à 1 400°C. Le module d’Young élevé > 400 GPa assure une excellente stabilité dimensionnelle.
Une application typique des composants en carbure de silicium est la technologie d'étanchéité dynamique utilisant des roulements à friction et des garnitures mécaniques, par exemple dans les pompes et les systèmes d'entraînement.
Grâce à leurs propriétés avancées, les céramiques de carbure de silicium sont également idéales pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs.
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Semicorex Wafer Boat est fabriqué en céramique de carbure de silicium fritté, qui présente une bonne résistance à la corrosion et une excellente résistance aux températures élevées et aux chocs thermiques. Les céramiques avancées offrent une excellente résistance thermique et une excellente durabilité du plasma tout en atténuant les particules et les contaminants pour les supports de tranches de grande capacité.
Carbure de silicium fritté par réaction
Comparé à d'autres procédés de frittage, le changement de taille du frittage par réaction pendant le processus de densification est faible et des produits aux dimensions précises peuvent être produits. Cependant, la présence d’une grande quantité de SiC dans le corps fritté aggrave les performances à haute température des céramiques SiC frittées par réaction.
Carbure de silicium fritté sans pression
Le carbure de silicium fritté sans pression (SSiC) est une céramique haute performance particulièrement légère et en même temps dure. Le SSiC se caractérise par une résistance élevée, qui reste presque constante même à des températures extrêmes.
Carbure de silicium recristallisé
Le carbure de silicium recristallisé (RSiC) est un matériau de nouvelle génération formé en mélangeant une poudre grossière de carbure de silicium de haute pureté et une poudre fine de carbure de silicium de haute activité, et après le jointoiement, un frittage sous vide à 2 450 °C pour recristalliser.
Semicorex fournit des céramiques de qualité semi-conductrice pour vos outils de semi-fabrication OEM et vos composants de manipulation de plaquettes. Nous sommes fabricant et fournisseur de films de revêtement en carbure de silicium depuis de nombreuses années. Notre manchon d'essieu en céramique présente un bon avantage en termes de prix et couvre la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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En savoir plusenvoyer une demandeLes bagues de focalisation durables Semicorex pour le traitement des semi-conducteurs sont conçues pour résister aux environnements extrêmes des chambres de gravure au plasma utilisées dans le traitement des semi-conducteurs. Nos bagues de mise au point sont fabriquées en graphite de haute pureté recouvert d'un revêtement dense et résistant à l'usure en carbure de silicium (SiC). Le revêtement SiC présente des propriétés élevées de résistance à la corrosion et à la chaleur, ainsi qu'une excellente conductivité thermique. Nous appliquons du SiC en fines couches sur le graphite en utilisant le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour améliorer la durée de vie de nos bagues de mise au point.
En savoir plusenvoyer une demandeLa bague de mise au point pour le traitement au plasma Semicorex est spécialement conçue pour répondre aux exigences élevées du traitement de gravure au plasma dans l'industrie des semi-conducteurs. Nos composants avancés à revêtement en carbure de silicium de haute pureté sont conçus pour résister aux environnements extrêmes et conviennent à une utilisation dans diverses applications, notamment les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs d'épitaxie.
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