Les suscepteurs en barillet sont un composant essentiel utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que le LPE et le MOCVD. Semicorex applique du carbure de silicium de haute pureté en couches minces sur le graphite en utilisant le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), ce qui rend le matériau de qualité semi-conducteur doté d'une excellente stabilité thermique, résistance chimique et résistance à l'usure, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans des environnements de haute pureté. processus de température.
● Graphite revêtu de SiC de haute pureté
● Résistance supérieure à la chaleur et aux produits chimiques
● Haute uniformité thermique
● Excellente résistance à l'usure
Si vous avez besoin d'un suscepteur en graphite haute performance à utiliser dans des applications de fabrication de semi-conducteurs, le dépôt épitaxial de silicium Semicorex dans un réacteur en baril est le choix idéal. Son revêtement SiC de haute pureté et sa conductivité thermique exceptionnelle offrent des propriétés supérieures de protection et de répartition de la chaleur, ce qui en fait le choix idéal pour des performances fiables et constantes, même dans les environnements les plus difficiles.
En savoir plusenvoyer une demandeSi vous avez besoin d'un suscepteur en graphite doté de propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur, ne cherchez pas plus loin que le système Epi à baril chauffé par induction Semicorex. Son revêtement SiC de haute pureté offre une protection supérieure dans les environnements corrosifs et à haute température, ce qui en fait le choix idéal pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeAvec ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de distribution de chaleur, la structure en barillet Semicorex pour réacteur épitaxial à semi-conducteurs est le choix idéal pour une utilisation dans les processus LPE et d'autres applications de fabrication de semi-conducteurs. Son revêtement SiC de haute pureté offre une protection supérieure dans les environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeSi vous recherchez un suscepteur en graphite haute performance à utiliser dans les applications de fabrication de semi-conducteurs, le suscepteur à corps en graphite à revêtement SiC Semicorex est le choix idéal. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur en font le choix idéal pour des performances fiables et constantes dans des environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeAvec son point de fusion élevé, sa résistance à l'oxydation et à la corrosion, le suscepteur de croissance cristalline à revêtement SiC Semicorex est le choix idéal pour une utilisation dans les applications de croissance monocristalline. Son revêtement en carbure de silicium offre d'excellentes propriétés de planéité et de répartition de la chaleur, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeSi vous avez besoin d'un suscepteur en graphite capable de fonctionner de manière fiable et constante, même dans les environnements corrosifs et à haute température les plus exigeants, le suscepteur Semicorex Barrel pour épitaxie en phase liquide est le choix idéal. Son revêtement en carbure de silicium offre une excellente conductivité thermique et une excellente répartition de la chaleur, garantissant des performances exceptionnelles dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
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