Les suscepteurs cylindriques sont un composant essentiel utilisé dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs, tels que LPE, MOCVD. Semicorex applique du carbure de silicium de haute pureté en couches minces sur le graphite à l'aide du procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), ce qui rend le matériau de qualité semi-conductrice avec une excellente stabilité thermique, résistance chimique et résistance à l'usure, ce qui les rend idéaux pour une utilisation en haute- processus de température.
â Graphite recouvert de SiC de grande pureté
â Résistance supérieure à la chaleur et aux produits chimiques
â Haute uniformité thermique
â Excellente résistance à l'usure
Le suscepteur cylindrique à revêtement SiC Semicorex pour LPE est le choix idéal pour les applications de croissance de monocristaux, grâce à sa surface exceptionnellement plane et à son revêtement SiC de haute qualité. Son point de fusion élevé, sa résistance à l'oxydation et sa résistance à la corrosion en font un choix idéal pour une utilisation dans des environnements à haute température et corrosifs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe corps de réacteur épitaxial revêtu de SiC de Semicorex est un produit en graphite de qualité supérieure revêtu de SiC de haute pureté. Son excellente densité et sa conductivité thermique en font un choix idéal pour une utilisation dans les procédés LPE, offrant une distribution de chaleur et une protection exceptionnelles dans les environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur de barillet de réacteur revêtu de carbure Semicorex est un produit en graphite de qualité supérieure revêtu de SiC de haute pureté, conçu spécifiquement pour les procédés LPE. Avec une excellente résistance à la chaleur et à la corrosion, ce produit est parfait pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe corps de suscepteur revêtu de SiC pour chambre de réacteur LPE de Semicorex est une solution hautement fiable pour les processus de fabrication de semi-conducteurs, offrant des propriétés supérieures de distribution de chaleur et de conductivité thermique. Il est également très résistant à la corrosion, à l'oxydation et aux températures élevées.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur à baril recouvert de carbure de silicium Semicorex est un produit en graphite de haute qualité recouvert de SiC de haute pureté, offrant une résistance exceptionnelle à la chaleur et à la corrosion. Il est spécialement conçu pour les applications LPE dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe revêtement Semicorex SiC EPI 3 1/4" Barrel Susceptor offre une excellente stabilité thermique et une excellente résistance aux attaques chimiques, tandis que le substrat en graphite offre des propriétés de transfert de chaleur supérieures.
En savoir plusenvoyer une demande