Les suscepteurs en barillet sont un composant essentiel utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que le LPE et le MOCVD. Semicorex applique du carbure de silicium de haute pureté en couches minces sur le graphite en utilisant le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), ce qui rend le matériau de qualité semi-conducteur doté d'une excellente stabilité thermique, résistance chimique et résistance à l'usure, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans des environnements de haute pureté. processus de température.
● Graphite revêtu de SiC de haute pureté
● Résistance supérieure à la chaleur et aux produits chimiques
● Haute uniformité thermique
● Excellente résistance à l'usure
Le suscepteur cylindrique à revêtement SiC Semicorex pour épitaxie de plaquettes est le choix idéal pour les applications de croissance de monocristaux, grâce à sa surface exceptionnellement plate et à son revêtement SiC de haute qualité. Son point de fusion élevé, sa résistance à l’oxydation et à la corrosion en font un choix idéal pour une utilisation dans des environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeLe baril de réacteur épitaxial revêtu de SiC Semicorex est un produit en graphite de qualité supérieure recouvert de SiC de haute pureté. Son excellente densité et conductivité thermique en font un choix idéal pour une utilisation dans les processus LPE, offrant une distribution de chaleur et une protection exceptionnelles dans les environnements corrosifs et à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur de baril de réacteur à revêtement en carbure Semicorex est un produit en graphite de qualité supérieure recouvert de SiC de haute pureté, conçu spécifiquement pour les processus LPE. Avec une excellente résistance à la chaleur et à la corrosion, ce produit est parfait pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe baril de suscepteur à revêtement SiC de Semicorex pour chambre de réacteur épitaxial est une solution hautement fiable pour les processus de fabrication de semi-conducteurs, présentant des propriétés supérieures de distribution de chaleur et de conductivité thermique. Il est également très résistant à la corrosion, à l’oxydation et aux températures élevées.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur à baril recouvert de carbure de silicium Semicorex est un produit en graphite de haute qualité recouvert de SiC de haute pureté, offrant une résistance exceptionnelle à la chaleur et à la corrosion. Il est spécialement conçu pour les applications LPE dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe revêtement Semicorex SiC EPI 3 1/4" Barrel Susceptor offre une excellente stabilité thermique et une résistance aux attaques chimiques, tandis que le substrat en graphite offre des propriétés de transfert de chaleur supérieures.
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