Le support de plaquette de gravure ICP de Semicorex est la solution parfaite pour les processus de manipulation de plaquettes à haute température tels que l'épitaxie et le MOCVD. Avec une résistance stable à l'oxydation à haute température jusqu'à 1600°C, nos supports garantissent des profils thermiques uniformes, des modèles d'écoulement de gaz laminaire et empêchent la contamination ou la diffusion des impuretés.
En savoir plusenvoyer une demandeSi vous avez besoin d'un suscepteur en graphite avec des propriétés de conductivité thermique et de répartition de la chaleur exceptionnelles, ne cherchez pas plus loin que le système Epi à baril chauffé par induction Semicorex pour l'épitaxie LPE. Son revêtement SiC de haute pureté offre une protection supérieure dans les environnements à haute température et corrosifs, ce qui en fait le choix idéal pour une utilisation dans les applications de fabrication de semi-conducteurs.
En savoir plusenvoyer une demandeAvec ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de distribution de la chaleur, la structure cylindrique Semicorex pour réacteur épitaxial à semi-conducteurs est le choix parfait pour une utilisation dans les processus LPE et d'autres applications de fabrication de semi-conducteurs. Son revêtement SiC haute pureté offre une protection supérieure dans les environnements à haute température et corrosifs.
En savoir plusenvoyer une demandeLe corps en graphite revêtu de carbure de silicium Semicorex est le choix parfait pour les applications de fabrication de semi-conducteurs qui nécessitent une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion. Ses propriétés exceptionnelles de conductivité thermique et de répartition de la chaleur le rendent idéal pour une utilisation dans les procédés LPE et autres environnements à haute température.
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur à baril recouvert de carbure de silicium Semicorex est un produit en graphite de haute qualité recouvert de SiC de haute pureté, offrant une résistance exceptionnelle à la chaleur et à la corrosion. Il est spécialement conçu pour les applications LPE dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs.
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